[發(fā)明專利]一種大氣壓低功率脈沖微波冷等離子體射流發(fā)生器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310577476.7
• 申請日: 2013-11-19
• 公開（公告）號: CN103607835A
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發(fā)明（設計）人: 陳兆權;洪伶俐;李會會;程韋;白洋
• 申請（專利權）人: 安徽理工大學
• 主分類號: H05H1/30
• 分類號: H05H1/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種大氣壓低功率脈沖微波冷等離子體射流發(fā)生器，其特征在于，它由脈沖調制微波源、微波信號源、可調功率放大器、雙定向耦合器、放電器組成，微波信號和脈沖調制信號通過同軸電纜與可調功率放大器連接，可調功率放大器通過同軸射頻線與雙定向耦合器連接，雙定向耦合器通過同軸射頻線與放電器連接，其中：

放電器包含石英玻璃管，其玻璃管上包裹著一層銅膜，并且把玻璃管的一端封著，銅膜封口上均勻分布著直徑為0.3mm的8個小孔，其配氣系統(tǒng)所供的氬氣通過小孔流入玻璃管中，玻璃管中間有一個離管口3mm的直徑為1mm的鋼針，離封口處有一個開口，其接SMA頭。

2.根據權利要求1所述的一種大氣壓低功率脈沖微波冷等離子體射流發(fā)生器，其特征在于，所述的脈沖調制微波源是固態(tài)微波源。

3.根據權利要求1所述的一種大氣壓低功率脈沖微波冷等離子體射流發(fā)生器，其特征在于，所述的微波信號源工作頻率為2.4～2.5GHz的可調標準頻率，脈沖調制輸出信號的頻率為200Hz～100kHz、占空比在1：100％范圍內可調，mW級的微波信號通過可調功率放大器放大成W級的脈沖微波功率。