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[發(fā)明專(zhuān)利]一種大氣壓低功率脈沖微波冷等離子體射流發(fā)生器無(wú)效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201310577476.7 申請(qǐng)日: 2013-11-19
公開(kāi)(公告)號(hào): CN103607835A 公開(kāi)(公告)日: 2014-02-26
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 陳兆權(quán);洪伶俐;李會(huì)會(huì);程韋;白洋 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 安徽理工大學(xué)
主分類(lèi)號(hào): H05H1/30 分類(lèi)號(hào): H05H1/30
代理公司: 暫無(wú)信息 代理人: 暫無(wú)信息
地址: 232001 *** 國(guó)省代碼: 安徽;34
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 大氣 壓低 功率 脈沖 微波 等離子體 射流 發(fā)生器
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種大氣壓低功率脈沖微波冷等離子體射流發(fā)生器,其特征在于,它由脈沖調(diào)制微波源、微波信號(hào)源、可調(diào)功率放大器、雙定向耦合器、放電器組成,微波信號(hào)和脈沖調(diào)制信號(hào)通過(guò)同軸電纜與可調(diào)功率放大器連接,可調(diào)功率放大器通過(guò)同軸射頻線(xiàn)與雙定向耦合器連接,雙定向耦合器通過(guò)同軸射頻線(xiàn)與放電器連接,其中:

放電器包含石英玻璃管,其玻璃管上包裹著一層銅膜,并且把玻璃管的一端封著,銅膜封口上均勻分布著直徑為0.3mm的8個(gè)小孔,其配氣系統(tǒng)所供的氬氣通過(guò)小孔流入玻璃管中,玻璃管中間有一個(gè)離管口3mm的直徑為1mm的鋼針,離封口處有一個(gè)開(kāi)口,其接SMA頭。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大氣壓低功率脈沖微波冷等離子體射流發(fā)生器,其特征在于,所述的脈沖調(diào)制微波源是固態(tài)微波源。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大氣壓低功率脈沖微波冷等離子體射流發(fā)生器,其特征在于,所述的微波信號(hào)源工作頻率為2.4~2.5GHz的可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)頻率,脈沖調(diào)制輸出信號(hào)的頻率為200Hz~100kHz、占空比在1:100%范圍內(nèi)可調(diào),mW級(jí)的微波信號(hào)通過(guò)可調(diào)功率放大器放大成W級(jí)的脈沖微波功率。

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