[發(fā)明專利]氣浮輥道式半導(dǎo)體器件熱處理爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310576842.7
• 申請日: 2013-11-18
• 公開（公告）號: CN103557701A
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁向東;許穎;袁瑒
• 申請（專利權(quán)）人: 北京金晟陽光科技有限公司;袁向東;許穎
• 主分類號: F27B9/30
• 分類號: F27B9/30;F27D5/00
• 代理公司: 青島發(fā)思特專利商標(biāo)代理有限公司 37212
• 代理人: 馬俊榮

1.一種氣浮輥道式半導(dǎo)體器件熱處理爐，其特征在于，在所述熱處理爐中，傳輸半導(dǎo)體器件的輥道由若干條水平排列、沿自身軸線往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)的輥軸組成，至少一部分輥軸為空心輥軸，在空心輥軸上半導(dǎo)體器件經(jīng)過的部位沿徑向方向設(shè)置有若干通氣孔，在空心輥軸的至少一端通過旋轉(zhuǎn)接頭與進(jìn)氣管連接，氣體通過空心輥軸上的通氣孔進(jìn)入到半導(dǎo)體器件經(jīng)過的爐膛部位。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮輥道式半導(dǎo)體器件熱處理爐，其特征在于，通過空心輥軸上的通氣孔進(jìn)入爐膛的氣體，在半導(dǎo)體器件與空心輥軸表面之間形成一層氣膜，半導(dǎo)體器件在氣膜的作用下進(jìn)行傳輸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮輥道式半導(dǎo)體器件熱處理爐，其特征在于，從空心輥軸上的通氣孔吹出的氣體的壓力要能夠使半導(dǎo)體器件瞬間離開傳輸輥軸的表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮輥道式半導(dǎo)體器件熱處理爐，其特征在于：在空心輥軸上半導(dǎo)體器件經(jīng)過的設(shè)置有若干通氣孔的部位，設(shè)置有至少一個(gè)中間凹、兩邊凸的臺階，半導(dǎo)體器件在兩邊凸起臺階的支撐和摩擦力作用下水平移動(dòng)，半導(dǎo)體器件與通氣孔之間離開一定距離，氣體無障礙地從半導(dǎo)體器件下面進(jìn)入爐膛，在半導(dǎo)體器件和輥軸之間形成氣膜、氣體均勻地到達(dá)半導(dǎo)體器件周圍。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮輥道式半導(dǎo)體器件熱處理爐，其特征在于，在空心輥軸上沿徑向方向設(shè)置的若干通氣孔，與空心輥軸的軸心垂直或者向半導(dǎo)體器件前進(jìn)方向傾斜一定的角度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮輥道式半導(dǎo)體器件熱處理爐，其特征在于，在空心輥軸上沿徑向方向設(shè)置的若干通氣孔，其孔徑為相同或不同、其間距為均勻間距或不均勻間距。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮輥道式半導(dǎo)體器件熱處理爐，其特征在于，空心輥軸的材質(zhì)是石英玻璃管、石英陶瓷管、氧化鋁陶瓷管或氮化硅陶瓷管。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮輥道式半導(dǎo)體器件熱處理爐，其特征在于，所述的半導(dǎo)體器件為硅片、鍺片、砷化鎵片、藍(lán)寶石片或其他可以進(jìn)行PN結(jié)摻雜的材料。