[發(fā)明專利]光學(xué)隔離系統(tǒng)及光學(xué)隔離器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310576746.2
• 申請日: 2013-11-15
• 公開（公告）號: CN103592775A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖磊;官偉;李斌;楊錦彬;寧艷華;高云峰
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
• 主分類號: G02B27/28
• 分類號: G02B27/28;G02B7/182
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 何平

1.一種光學(xué)隔離系統(tǒng)，用于隔離激光器的反射激光，其特征在于，包括：

薄膜吸收反射鏡，可將偏振方向與基準(zhǔn)面的夾角為45度的線偏振光以45度反射角反射，并出射S偏振光，所述基準(zhǔn)面為與所述線偏振光平行且與所述線偏振光的入射面垂直的平面；

90度相位延遲鏡，與所述薄膜吸收反射鏡相對平行設(shè)置，所述90度相位延遲鏡可將所述S偏振光轉(zhuǎn)換以45度反射角出射的圓偏振光，所述圓偏振光用于對工件進(jìn)行加工；

其中，所述圓偏振光經(jīng)所述工件表面反射，所述90度相位延遲鏡可將所述圓偏振光轉(zhuǎn)換成P偏振光，所述P偏振光入射到所述薄膜吸收反射鏡上，所述薄膜吸收反射鏡可吸收所述P偏振光。

2.一種光學(xué)隔離系統(tǒng)，用于對激光器的隔離反射激光，其特征在于，包括：

薄膜吸收反射鏡，可設(shè)于所述激光器的出光口處，所述薄膜吸收反射鏡可將偏振方向與所述基準(zhǔn)面平行的線偏振光以45度反射角反射出，并出射S偏振光，所述基準(zhǔn)面為與所述線偏振光平行且與所述線偏振光的入射面垂直的平面；

半波片，與所述S偏振光的傳播方向相垂直，所述半波片的主截面與所述S偏振光的振動面之間的夾角為22.5度，所述半波片可將所述S偏振光偏轉(zhuǎn)成振動面與所述半波片的主截面之間的夾角為45度的S′偏振光；及

90度相位延遲鏡，設(shè)于所述半波片遠(yuǎn)離所述薄膜吸收反射鏡的一側(cè)，且所述90度相位延遲鏡可使所述S′偏振光以45度入射角入射，所述90度相位延遲鏡可將所述S′偏振光反射成圓偏振光，所述圓偏振光用于對工件進(jìn)行加工；

其中，所述圓偏振光經(jīng)所述工件表面反射，所述90度相位延遲鏡及所述半波片可將所述圓偏振光轉(zhuǎn)換成P偏振光，所述P偏振光入射到所述薄膜吸收反射鏡上，所述薄膜吸收反射鏡可吸收所述P偏振光。

3.一種光學(xué)隔離系統(tǒng)，用于對激光器的隔離反射激光，其特征在于，包括：

半波片，主截面與所述基準(zhǔn)面的夾角為22.5度，以形成偏振方向與所述基準(zhǔn)面的夾角為45度的線偏振光，所述基準(zhǔn)面為與所述線偏振光平行且與所述線偏振光的入射面垂直的平面；

薄膜吸收反射鏡，設(shè)于所述線偏振光的傳播方向上，所述薄膜吸收反射鏡可將線偏振光以45度反射角反射出，并出射S′偏振光；

90度相位延遲鏡，設(shè)于所述薄膜吸收反射鏡遠(yuǎn)離所述半波片的一側(cè)，且所述90度相位延遲鏡可使所述S′偏振光以45度入射角入射，所述90度相位延遲鏡可將所述S′偏振光反射成圓偏振光，所述圓偏振光用于對工件進(jìn)行加工；

其中，所述圓偏振光經(jīng)所述工件表面反射，所述90度相位延遲鏡可將所述圓偏振光轉(zhuǎn)換成P偏振光，所述P偏振光入射到所述薄膜吸收反射鏡上，所述薄膜吸收反射鏡可吸收所述P偏振光。

4.一種光學(xué)隔離器，其特征在于，包括：

如權(quán)利要求1～3任意一項(xiàng)所述的光學(xué)隔離系統(tǒng)；及

薄膜吸收反射鏡安裝座，為塊狀實(shí)體，所述薄膜吸收反射鏡安裝座內(nèi)銑有第一水槽，所述第一水槽的兩個開口端均位于所述薄膜吸收反射鏡安裝座的表面，所述薄膜吸收反射鏡安裝座于所述第一水槽的一開口端設(shè)有第一進(jìn)水管，另一開口端設(shè)有第一出水管，所述薄膜吸收反射鏡安裝座設(shè)有第一斜面，所述第一斜面的傾斜角為45度，所述第一斜面上開設(shè)有第一收容槽，所述第一收容槽的形狀與所述薄膜吸收反射鏡的形狀相匹配，所述薄膜吸收反射鏡收容于所述第一收容槽內(nèi)，且所述薄膜吸收反射鏡呈45度傾斜。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學(xué)隔離器，其特征在于，所述第一水槽包括入水部、彎折部及出水部，所述入水部與所述出水部分別位于所述薄膜吸收反射鏡安裝座的相對的兩側(cè)，所述入水部與所述第一進(jìn)水管接通，所述彎折部設(shè)于所述入水部與所述出水部之間導(dǎo)通所述入水部與所述出水部，所述出水部與所述第一出水管接通。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)隔離器，其特征在于，所述薄膜吸收反射鏡安裝座的一側(cè)設(shè)有楔形的缺口，所述薄膜吸收反射鏡安裝座于所述缺口處向內(nèi)銑出所述彎折部。