[發明專利]一種陣列式微洞陰極氣體放電等離子體射流裝置

有效

• 申請號: 201310575385.X
• 申請日: 2013-11-18
• 公開（公告）號: CN103561535A
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發明（設計）人: 劉坤;王琛穎;廖華;何為
• 申請（專利權）人: 重慶大學
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 重慶博凱知識產權代理有限公司 50212
• 代理人: 王海鳳;穆祥維

1.一種陣列式微洞陰極氣體放電等離子體射流裝置，其特征在于，該裝置包括自上而下設置的高壓電極（10）、絕緣介質層（20）和接地電極（30），所述高壓電極（10）和接地電極（30）均由導電材料制成，所述絕緣介質層采用絕緣材料制成；所述高壓電極（10）為空心的箱體結構，該箱體結構的空心部分為高壓電極儲氣腔，所述箱體結構上具有向高壓電極儲氣腔內充氣的進氣孔（11）；所述箱體結構的底部具有多個第一通孔，絕緣介質層（20）上具有多個第二通孔，接地電極（30）上具有多個第三通孔，所述多個第一通孔，多個第二通孔和多個第三通孔在豎直方向上一一對應且第一通孔，第二通孔和第三通孔的孔徑相同。

2.如權利要求1所述的陣列式微洞陰極氣體放電等離子體射流裝置，其特征在于，所述箱體結構的底部的多個第一通孔，絕緣介質層（20）上多個第二通孔和接地電極（30）上的多個第三通孔均呈陣列式排列。

3.如權利要求1所述的陣列式微洞陰極氣體放電等離子體射流裝置，其特征在于，所述絕緣介質層（20）的尺寸分別大于箱體結構的底部和接地電極（30）的尺寸。

4.如權利要求3所述的陣列式微洞陰極氣體放電等離子體射流裝置，其特征在于，還包括絕緣材料制成的裝夾裝置，所述裝夾裝置包括上部夾持件（41）和下部夾持件（42），所述上部夾持件（41）具有高壓接線通孔（43）和進氣管通孔（45），所述進氣管通孔與進氣孔（11）連通且同軸設置，進氣管通孔的孔徑大于進氣孔的孔徑，所述下部夾持件（42）具有接地連線通孔（44）；

所述上部夾持件（41）和下部夾持件（42）可拆卸連接形成下端開口的空腔，所述開口處將多個第三通孔露出，所述空腔自上而下包括容納箱體結構并與箱體結構緊配合的箱體容置部分（46），容納絕緣介質層（20）并與絕緣介質層（20）緊配合的絕緣介質層容置部分（47）和容納接地電極（30）并與接地電極（30）緊配合的接地電極容置部分（48）。

5.如權利要求4所述的陣列式微洞陰極氣體放電等離子體射流裝置，其特征在于，所述裝夾裝置采用聚四氟乙烯制成。

6.如權利要求1所述的陣列式微洞陰極氣體放電等離子體射流裝置，其特征在于，制成高壓電極（10）和接地電極（30）的導電材料為耐腐蝕的金屬材料。

7.如權利要求1所述的陣列式微洞陰極氣體放電等離子體射流裝置，其特征在于，制成絕緣介質層（20）的絕緣材料為陶瓷、云母、石英或聚四氟乙烯材料制成。