[發(fā)明專(zhuān)利]一種檢測(cè)氨氣的石英晶體微天平氣體傳感器的制備方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310574665.9
• 申請(qǐng)日: 2013-11-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103575865A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張嘉琪;胡馨升;齊高璨;胡發(fā)志;陳培飛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 天津理工大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01N33/00
• 分類(lèi)號(hào): G01N33/00
• 代理公司: 天津佳盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12002
• 代理人: 侯力

1.一種檢測(cè)氨氣的石英晶體微天平氣體傳感器的制備方法，其特征在于：采用ZnO?納米棒作為敏感膜，其中QCM?氣體傳感器的基底為AT切型的?8?MHz晶振片，步驟如下：

1）將AT切型的?8?MHz晶振片用去離子水和酒精反復(fù)清洗三次，然后晶振片放入60℃烘箱中干燥30?min后待用；

2）將?ZnO?溶膠與乙醇按照體積比為1：2進(jìn)行稀釋后，水浴加熱到?60?℃，得到稀釋后的溶膠；

3）將洗凈干燥的晶振片放入稀釋后的溶膠中拉膜?2-3?次，形成均勻晶種層后，放入60?℃干燥箱中干燥15?min；

4）將硝酸鋅和六次甲基四胺與去離子水混合后，超聲溶解?15?min?，制得生長(zhǎng)液；

5）將拉膜干燥后的晶振片放入生長(zhǎng)液中，用塑料薄膜密封，放在95?℃水浴中生長(zhǎng)?3?h，然后，用去離子水沖洗晶振片?3?次，60?℃干燥12h，即可得到ZnO納米棒修飾的QCM氣體傳感器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述檢測(cè)氨氣的石英晶體微天平氣體傳感器的制備方法，其特征在于：所述硝酸鋅、六次甲基四胺與去離子水的用量比為1.488?g?：0.701?g：200?ml。

3.一種如權(quán)利要求1所制備的檢測(cè)氨氣的石英晶體微天平氣體傳感器的應(yīng)用，其特征在于：用于檢測(cè)1×10^-6-100×10^-6濃度范圍的氨氣，頻差變化范圍為1-200Hz，響應(yīng)時(shí)間小于10s，ZnO?納米棒晶振片的頻差變化與氨氣濃度呈線性關(guān)系，相關(guān)系數(shù)為0.9983。