[發明專利]自動光學檢測方法及設備有效
| 申請號： | 201310573849.3 | 申請日： | 2013-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN103558224A | 公開（公告）日： | 2014-02-05 |
| 發明（設計）人： | 葛永利;齊勤瑞 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 自動 光學 檢測 方法 設備 | ||
1.一種自動光學檢測方法，其特征在于，包括：
在待檢測基板上形成動態光強標記，所述動態光強標記包括樣品標記部分和基準標記部分；
根據所述動態光強標記的圖像信息獲取檢測光強，所述檢測光強為使得所述基準標記部分最明顯的光強；
利用所述檢測光強對所述待檢測基板進行檢測。
2.根據權利要求1所述的自動光學檢測方法，其特征在于，
所述樣品標記部分包括第一彩色濾色層和第一遮光層；
所述基準標記部分包括第二遮光層。
3.根據權利要求1或2所述的自動光學檢測方法，其特征在于，所述動態光強標記的圖像信息包括所述動態光強標記的像素值。
4.根據權利要求3所述的自動光學檢測方法，其特征在于，所述根據所述動態光強標記的圖像信息獲取檢測光強，所述檢測光強為使得所述基準標記部分最明顯的光強包括：連續調節光強，直至獲取使得所述基準標記部分的像素值最大的對應光強作為檢測光強。
5.根據權利要求1所述的自動光學檢測方法，其特征在于，所述在待檢測基板上形成動態光強標記包括：在所述待檢測基板的非顯示區域上形成動態光強標記，所述非顯示區域在后期制作過程中被去除。
6.一種自動光學檢測設備，其特征在于，包括：
圖像信息獲取模塊，所述圖像信息獲取模塊用于獲取待檢測基板的動態光強標記的圖像信息，其中，所述動態光強標記包括樣品標記部分和基準標記部分；
檢測光強獲取模塊，所述檢測光強獲取模塊用于根據所述動態光強標記的圖像信息獲取檢測光強，所述檢測光強為使得所述基準標記部分最明顯的光強。
7.根據權利要求6所述的自動光學檢測設備，其特征在于，所述圖像信息獲取模塊包括光電耦合元件。
8.根據權利要求6所述的自動光學檢測設備，其特征在于，所述檢測光強獲取模塊包括光強自動調整元件，所述光強自動調整元件用于實現光源的光強的連續變化。
9.根據權利要求6所述的自動光學檢測設備，其特征在于，所述動態光強標記的圖像信息包括所述動態光強標記的像素值。
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