[發(fā)明專利]提升平整度和絕緣性的探針卡有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310573298.0 | 申請日： | 2013-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN103558424A | 公開（公告）日： | 2014-02-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張杰;岳小兵;余琨;湯雪飛;季海英 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海華嶺集成電路技術(shù)股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 提升 平整 絕緣性 探針 | ||
1.一種提升平整度和絕緣性的探針卡，其特征在于，包括：多層絕緣板，每層絕緣板上形成有電源層、地層或者連線層，所述多層絕緣板壓合在一起形成電路板；及固定于所述電路板上的探針加固塊；其中，任一絕緣板上的電源層或者地層中相對于探針加固塊的區(qū)域均形成有開口，所述開口中形成有平坦層，所述平坦層與位于同一絕緣板上的電源層或者地層絕緣。
2.如權(quán)利要求1所述的提升平整度和絕緣性的探針卡，其特征在于，所述平坦層的厚度與位于同一絕緣板上的電源層或者地層的厚度相同。
3.如權(quán)利要求1所述的提升平整度和絕緣性的探針卡，其特征在于，所述平坦層為導(dǎo)電平坦層，所述導(dǎo)電平坦層與位于同一絕緣板上的電源層或者地層之間具有間隙。
4.如權(quán)利要求3所述的提升平整度和絕緣性的探針卡，其特征在于，所述間隙的寬度為1μm～50μm。
5.如權(quán)利要求3所述的提升平整度和絕緣性的探針卡，其特征在于，所述平坦層為金屬平坦層。
6.如權(quán)利要求1所述的提升平整度和絕緣性的探針卡，其特征在于，所述平坦層為非導(dǎo)電平坦層，所述非導(dǎo)電平坦層與位于同一絕緣板上的電源層或者地層之間相接觸。
7.如權(quán)利要求6所述的提升平整度和絕緣性的探針卡，其特征在于，所述平坦層為非金屬平坦層。
8.如權(quán)利要求1～7中任一項所述的提升平整度和絕緣性的探針卡，其特征在于，還包括：固定于所述探針加固塊上的探針。
9.如權(quán)利要求1～7中任一項所述的提升平整度和絕緣性的探針卡，其特征在于，所述探針加固塊通過螺釘固定于所述電路板上。
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G01R 測量電變量；測量磁變量
G01R1-00 包含在G01R 5/00至G01R 13/00和G01R 31/00組中的各類儀器或裝置的零部件
G01R1-02 .一般結(jié)構(gòu)零部件
G01R1-20 .電測量儀器中所用的基本電氣元件的改進；這些元件和這類儀器的結(jié)構(gòu)組合
G01R1-28 .在測量儀器中提供基準(zhǔn)值的設(shè)備，例如提供標(biāo)準(zhǔn)電壓、標(biāo)準(zhǔn)波形
G01R1-30 .電測量儀器與基本電子線路的結(jié)構(gòu)組合，例如與放大器的結(jié)構(gòu)組合
G01R1-36 .電測量儀器的過負(fù)載保護裝置或電路
