[發(fā)明專利]液體排出頭及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310573190.1
• 申請(qǐng)日: 2013-11-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103818119A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 后藤明夫;樋口廣志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 佳能株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B41J2/16
• 分類號(hào): B41J2/16
• 代理公司: 北京魏?jiǎn)W(xué)律師事務(wù)所 11398
• 代理人: 魏?jiǎn)W(xué)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液體排出頭和該液體排出頭的制造方法。

背景技術(shù)

通過(guò)排出諸如墨等的液體來(lái)記錄圖像并且以噴墨記錄設(shè)備為代表的記錄設(shè)備包括液體排出頭。排出口形成于這種液體排出頭，使用從能量產(chǎn)生元件產(chǎn)生的能量將液體從排出口排出。

這種液體排出頭包括基板和流路形成構(gòu)件。流路形成構(gòu)件形成于基板上并且是形成了供液體流動(dòng)的流路和與流路連通的排出口的構(gòu)件。流路形成構(gòu)件由樹(shù)脂、金屬或諸如氮化硅等的無(wú)機(jī)材料形成。

通常，在基板上形成多個(gè)流路（液室），并且形成排出口，各排出口均與一個(gè)流路相對(duì)應(yīng)。多個(gè)流路（即彼此相鄰的液室）通過(guò)形成各液室的流路形成構(gòu)件彼此分離。

有時(shí)可以在多個(gè)流路之間形成間隙，即，在流路形成構(gòu)件的形成一個(gè)流路的部分和流路形成構(gòu)件的形成與該一個(gè)流路相鄰的另一個(gè)流路的部分之間形成間隙。在日本特表2010-512262號(hào)公報(bào)（以下稱為“專利文獻(xiàn)1”）中說(shuō)明了包括由無(wú)機(jī)材料制成的流路形成構(gòu)件的液體排出頭。在專利文獻(xiàn)1中說(shuō)明的液體排出頭的制造過(guò)程中，均被構(gòu)造為形成流路（液室）的模具構(gòu)件形成于基板，以諸如覆蓋模具構(gòu)件的方式通過(guò)化學(xué)氣相沉積方法（CVD方法）涂布無(wú)機(jī)膜。然后在無(wú)機(jī)膜中形成排出口，最后，去除模具構(gòu)件，以形成流路。在通過(guò)這種方法制造的液體排出頭中，沿著均具有液室形狀的模具構(gòu)件形成無(wú)機(jī)膜，因而，在模具構(gòu)件之間形成間隙。換言之，在流路之間形成的流路形成構(gòu)件中形成間隙。在流路形成構(gòu)件中以此方式形成間隙的情況下，有時(shí)液體排出頭的強(qiáng)度可能低。因此，專利文獻(xiàn)1說(shuō)明了采用填充材料填充這種間隙。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種液體排出頭，其包括：基板；和流路形成構(gòu)件，其在所述基板上形成多個(gè)流路和與所述流路連通的排出口。液體從所述排出口排出。在所述多個(gè)流路之間形成間隙并且所述間隙填充有填充材料。在液體從所述排出口排出的方向?yàn)橄蛏系姆较虻那闆r下，所述填充材料的頂面位于與所述流路形成構(gòu)件的噴射口面相同高度的位置處或者位于在向上的方向上比所述流路形成構(gòu)件的噴射口面高的位置處。

本發(fā)明還提供一種液體排出頭的制造方法，所述液體排出頭包括基板和流路形成構(gòu)件，所述流路形成構(gòu)件在所述基板上形成多個(gè)流路和與所述流路連通的排出口，所述液體排出頭從所述排出口排出液體，所述方法包括：形成模具構(gòu)件，其中所述模具構(gòu)件被構(gòu)造為在所述基板上形成所述多個(gè)流路的圖案；以所述流路形成構(gòu)件覆蓋所述模具構(gòu)件的方式形成所述流路形成構(gòu)件；以研磨停止層至少覆蓋所述流路形成構(gòu)件的待形成所述排出口的區(qū)域的方式形成所述研磨停止層；以形成于所述模具構(gòu)件之間的間隙填充有填充材料的方式涂布所述填充材料；通過(guò)研磨所述填充材料使所述研磨停止層露出；去除所述研磨停止層；并且使所述排出口形成于所述流路形成構(gòu)件。

從下面參照附圖對(duì)示例性實(shí)施方式的說(shuō)明，本發(fā)明的其它特征將變得明顯。

附圖說(shuō)明

圖1A和圖1B是示出根據(jù)本發(fā)明的液體排出頭的實(shí)施例的圖。

圖2A至圖2I是示出根據(jù)本發(fā)明的液體排出頭的制造方法的實(shí)施例的圖。

圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的液體排出頭的另一個(gè)實(shí)施例的圖。

圖4A至圖4C是示出根據(jù)本發(fā)明的液體排出頭的制造方法的另一個(gè)實(shí)施例的圖。

具體實(shí)施方式

近年來(lái)，在專利文獻(xiàn)1說(shuō)明的液體排出頭中，需要改善液體排出頭的排出效率并減小從這種液體排出頭排出的液滴的大小。為了實(shí)現(xiàn)這個(gè)目的，可以減小流路形成構(gòu)件的厚度，特別是可以減小流路形成構(gòu)件的圍繞在排出口周圍的區(qū)域（即所謂的孔板）的厚度。

在減小孔板的厚度的情況下，孔板的強(qiáng)度變低。結(jié)果，例如，在各孔板的作為頂面的噴射口面（face?surface）與在運(yùn)輸期間變形的記錄介質(zhì)等接觸的情況下，孔板很可能受損。在噴射口面受損的情況下，排出口可能變形。另外，在專利文獻(xiàn)1中說(shuō)明的液體排出頭中，通過(guò)CVD方法形成包括孔板的流路形成構(gòu)件，因而，在孔板的厚度減小的情況下，整個(gè)流路形成構(gòu)件的厚度減小。結(jié)果，整個(gè)流路形成構(gòu)件的強(qiáng)度減小，并且流路形成構(gòu)件很可能由于與記錄介質(zhì)等的接觸而受損。

因此，本發(fā)明提供一種液體排出頭，其中，即使流路形成構(gòu)件與記錄介質(zhì)等接觸，流路形成構(gòu)件也不可能受損。