[發明專利]一種碳微球化學氣相沉積的制備方法在審
| 申請號: | 201310572846.8 | 申請日: | 2013-11-18 |
| 公開(公告)號: | CN104649245A | 公開(公告)日: | 2015-05-27 |
| 發明(設計)人: | 王祉童 | 申請(專利權)人: | 王祉童 |
| 主分類號: | C01B31/02 | 分類號: | C01B31/02;B82Y30/00 |
| 代理公司: | 無 | 代理人: | 無 |
| 地址: | 110167 遼寧省沈陽市渾*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 碳微球 化學 沉積 制備 方法 | ||
1.一種碳微球化學氣相沉積的制備方法,包括以下步驟:將載有0.1~1克金屬酞菁的瓷舟放入反應器中,在500~650℃處熱升華,在稀釋氣體保下,?800~1200℃受熱分解,反應恒溫保持5~60min后,通稀釋氣體使之冷卻至室溫得到直徑為450~2000nm的碳球。
2.按權利要求1所述的制備方法,其特征在于:金屬酞菁包括:酞菁鐵、酞菁鈷、酞菁鎳、酞菁銅中的一種或幾種。
3.按權利要求1所述的制備方法,其特征在于:稀釋氣體流速為5~200sccm。
4.按權利要求3所述的制備方法,其特征在于:稀釋氣體流速為10~60sccm。
5.?按權利要求1或2或3或4所述的制備方法,其特征在于:稀釋氣體為氫氣、氬氣或氫氣和氬氣的混合氣體。
6.按權利要求5所述的制備方法,其特征在于:采用氫氣和氬氣的混合氣體時,其摩爾比為1:1~4:1。
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