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[發明專利]一種碳微球化學氣相沉積的制備方法在審

專利信息
申請號: 201310572846.8 申請日: 2013-11-18
公開(公告)號: CN104649245A 公開(公告)日: 2015-05-27
發明(設計)人: 王祉童 申請(專利權)人: 王祉童
主分類號: C01B31/02 分類號: C01B31/02;B82Y30/00
代理公司: 代理人:
地址: 110167 遼寧省沈陽市渾*** 國省代碼: 遼寧;21
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 碳微球 化學 沉積 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種碳微球化學氣相沉積的制備方法,包括以下步驟:將載有0.1~1克金屬酞菁的瓷舟放入反應器中,在500~650℃處熱升華,在稀釋氣體保下,?800~1200℃受熱分解,反應恒溫保持5~60min后,通稀釋氣體使之冷卻至室溫得到直徑為450~2000nm的碳球。

2.按權利要求1所述的制備方法,其特征在于:金屬酞菁包括:酞菁鐵、酞菁鈷、酞菁鎳、酞菁銅中的一種或幾種。

3.按權利要求1所述的制備方法,其特征在于:稀釋氣體流速為5~200sccm。

4.按權利要求3所述的制備方法,其特征在于:稀釋氣體流速為10~60sccm。

5.?按權利要求1或2或3或4所述的制備方法,其特征在于:稀釋氣體為氫氣、氬氣或氫氣和氬氣的混合氣體。

6.按權利要求5所述的制備方法,其特征在于:采用氫氣和氬氣的混合氣體時,其摩爾比為1:1~4:1。

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