[發明專利]干式真空泵抽氣工藝模擬測試方法及測試系統

有效

• 申請號: 201310572691.8
• 申請日: 2013-11-15
• 公開（公告）號: CN104632604A
• 公開（公告）日: 2015-05-20
• 發明（設計）人: 張振厚;王光玉;劉坤;孔祥玲;張曉玉
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
• 主分類號: F04B51/00
• 分類號: F04B51/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

1.一種干式真空泵抽氣工藝模擬測試方法，其特征在于，連接待測試的干式真空泵，通過組合和設定集成化的模擬測試系統中的各種輸入元素，模擬各種實際被抽真空環境的抽氣工藝，同時對待測試的干式真空泵進行測試運轉，在線連續測試各路測試信號，考察真空泵在實際工作時的各項指標運轉情況和對抽氣環境的適應情況，對真空泵的設計制造和抽氣工藝的設定進行改善和優化；同時，對真空泵的出廠質量進行檢驗，以達到對應用于各種真空環境下真空泵適應情況進行測試和改善產品的目的。

2.根據權利要求1所述的干式真空泵抽氣工藝模擬測試方法，其特征在于，所述集成化的模擬測試系統中的各種輸入元素包括氣、液、電、磁、熱、粉塵顆粒、腐蝕性物質。

3.根據權利要求1所述的干式真空泵抽氣工藝模擬測試方法，其特征在于，所述各路測試信號包括有溫度、濕度、氣體成分、實時圖像、壓力、流量和噪聲信號。

4.一種干式真空泵抽氣工藝模擬測試系統，其特征在于，包括模擬抽氣環境的真空室、各路模擬元素輸入單元、各路信號監測單元、輔助抽氣管路、安全保護系統、尾氣收集系統及用于控制上述各單元的控制系統；

所述模擬元素輸入單元用于各種輸入元素的組合和設定；

所述信號監測單元用于對多種測試信號的在線監測，獲得在設定抽氣工藝下，被測真空泵在模擬測試系統中的各種性能指標。

5.根據權利要求4所述的干式真空泵抽氣工藝模擬測試系統，其特征在于，所述模擬元素輸入單元包括氣體輸入單元、液體輸入單元、電場輸入單元、磁場輸入單元、熱輸入單元、粉塵輸入單元和腐蝕性物質輸入單元中的一種或幾種。

6.根據權利要求5所述的干式真空泵抽氣工藝模擬測試系統，其特征在于，所述氣體輸入單元和液體輸入單元通過閥控制氣體/液體的輸入。

7.根據權利要求5所述的干式真空泵抽氣工藝模擬測試系統，其特征在于，所述電場輸入單元通過電源激發輸入電場信號。

8.根據權利要求5所述的干式真空泵抽氣工藝模擬測試系統，其特征在于，所述磁場輸入單元通過電磁源激發輸入磁場信號。

9.根據權利要求4所述的干式真空泵抽氣工藝模擬測試系統，其特征在于，所述信號監測單元包括溫度監測單元、實時圖像監測單元、壓力監測單元、噪聲監測單元、真空室內的濕度監測單元、氣體成分監測單元、連接模擬真空室的各路氣體入口處、被測真空泵入口處的流量監測單元中的一種或多種。

10.根據權利要求9所述的干式真空泵抽氣工藝模擬測試系統，其特征在于，所述溫度監測單元包括連接在干式真空泵的吸氣口、排氣口、軸承座或齒輪箱處的溫度傳感器。

11.根據權利要求9所述的干式真空泵抽氣工藝模擬測試系統，其特征在于，所述實時圖像監測單元為安裝對準泵入口和泵出口的高速成像系統，用于反饋真空室內可見液滴、粉塵顆粒的被抽情況和真空泵的受影響情況。

12.根據權利要求9所述的干式真空泵抽氣工藝模擬測試系統，其特征在于，所述壓力監測單元包括真空室內的壓力傳感器/真空度傳感器和連接在被測真空泵的吸氣口、排氣口或級間過渡隔板的壓力傳感器/真空度傳感器。

13.根據權利要求9所述的干式真空泵抽氣工藝模擬測試系統，其特征在于，所噪聲監測單元包括真空室內的聲納探頭、真空室外的分貝計。

14.根據權利要求5所述的干式真空泵抽氣工藝模擬測試系統，其特征在于，所述輔助抽氣管路為連接在模擬真空室的另一套輔助真空系統，包括真空泵、真空計、真空閥門以及連接管路的真空系統。

15.根據權利要求5所述的干式真空泵抽氣工藝模擬測試系統，其特征在于，所述安全保護系用于根據各種工藝的臨界閾值對抽氣過程進行監控，并采取報警、及時的關閉造成危險狀況的元素輸入、充惰性氣體保護措施，對整個模擬測試系統進行安全保護。

16.根據權利要求5所述的干式真空泵抽氣工藝模擬測試系統，其特征在于，所述尾氣收集系統包括廢氣、廢液和固體排放物的收集系統，并連接到污染物處理系統。