[發明專利]磨削裝置

有效

• 申請號: 201310572280.9
• 申請日: 2013-11-15
• 公開（公告）號: CN103831682B
• 公開（公告）日: 2017-06-27
• 發明（設計）人: 高田暢行
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B7/20
• 分類號: B24B7/20;B24B41/06;B24B57/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,蔡麗娜

技術領域

本發明涉及具有能夠裝卸的磨削輪的磨削裝置。

背景技術

對形成有半導體器件等的板狀工件進行磨削的磨削裝置至少由以下部分構成：保持構件，其具有保持板狀工件的保持工作臺；以及磨削構件，其裝配有對板狀工件實施磨削的磨削輪。并且，通過磨削輪來對保持在保持工作臺上的板狀工件進行磨削直到使該板狀工件薄化為預定厚度為止。

磨削輪通過螺絲固定在旋轉軸的輪座來進行使用，但是當緊固在該磨削輪下部的磨削磨具損耗時，需要將該磨削輪從輪座卸下并更換為新的磨削輪。

在磨削輪的更換作業中，松開緊固于輪座的螺絲后從輪座取下使用過的磨削輪，并將新的磨削輪安裝到輪座并擰緊螺絲來進行固定。這樣，在一連串的磨削輪的更換作業中，需要進行拆卸或擰緊螺絲的作業，為了將新的磨削輪可靠地固定在輪座而使用多個螺絲（例如，參照專利文獻1）。

現有技術文獻

專利文獻1：日本特開2006-224201號公報

但是，存在這樣的問題：當在磨削輪相對于輪座的裝卸作業中使用多個螺絲時，磨削輪的裝卸作業很繁雜。

另外，當通過多個螺絲將磨削輪裝配到輪座時，輪座的裝配有磨削輪的裝配面、和磨削輪的與該裝配面接觸的被裝配面緊貼，有時很難卸下磨削輪。

發明內容

本發明是鑒于上述事情而完成的發明，本發明的要解決的課題在于，能夠容易地進行磨削輪相對于輪座的裝卸作業。

本發明的磨削裝置至少具有：保持工作臺，其用于保持板狀工件；以及磨削構件，其用于對上述保持工作臺保持的板狀工件進行磨削，上述磨削構件由以下部分構成：環形形狀的磨削輪，在該磨削輪上呈環狀地排列有磨削磨具；輪座，其具有裝配上述磨削輪的裝配面；旋轉軸，其與上述輪座連接，并能夠以上述輪座的中心為軸使上述輪座旋轉；以及磨削輪裝卸構件，其將上述磨削輪裝配到上述輪座以及使上述磨削輪從上述輪座脫離，上述磨削輪裝卸構件具有：第1抽吸管，其沿上述旋轉軸的長度方向貫穿上述旋轉軸的內部；第2抽吸管，其配設于上述輪座的內部，與上述第1抽吸管連通并且與配設在上述輪座的上述裝配面上的抽吸口連接；抽吸閥，其對從上述抽吸口進行抽吸和切斷上述抽吸進行切換；以及引導部，當通過上述抽吸閥的工作將上述磨削輪抽吸保持到上述輪座的上述裝配面時，上述引導部將上述磨削輪引導至上述輪座的預定位置。

優選的是，上述磨削裝置具有磨削液供給構件，該磨削液供給構件向裝配在上述輪座上的上述磨削輪供給磨削液，上述磨削液供給構件具有：第1供給管，其與上述第1抽吸管平行地沿上述旋轉軸的長度方向貫穿上述旋轉軸的內部；第2供給管，其配設于上述輪座的內部，與上述第1供給管連通并與配設于上述裝配面上的供給口連接；以及通液閥，其對向上述供給口流通磨削液和切斷該流通進行切換，通過使上述通液閥工作能夠向上述磨削輪供給磨削液，上述供給口形成為圍繞上述抽吸口周圍的形狀，通過供給到上述供給口的磨削液來對上述輪座的裝配面和裝配在上述裝配面上的上述磨削輪的被裝配面之間的間隙進行液體密封。

優選的是，上述磨削裝置具有排出閥，該排出閥與向上述第1抽吸管供給流體的供給源連接，并對從上述抽吸口排出流體和切斷上述排出進行切換。

另外，優選的是，上述磨削裝置具有保持維持構件，該保持維持構件對使抽吸閥工作、通過來自抽吸口的抽吸而被抽吸保持的磨削輪的保持進行維持。

發明效果

由于設置在本發明的磨削裝置的磨削輪裝卸構件具有：第1抽吸管，其沿旋轉軸的長度方向貫穿旋轉軸的內部；第2抽吸管，其與第1抽吸管連通并且與配設在輪座的裝配面上的抽吸口連接；抽吸閥，其對從抽吸口進行抽吸和切斷抽吸進行切換；以及引導部，其將磨削輪引導至輪座的預定位置，因此通過打開抽吸閥能夠抽吸磨削輪，并能夠通過引導部將磨削輪不偏移地引導到輪座的裝配面并進行抽吸保持。因此，即使不使用螺絲也能夠容易地進行磨削輪的裝卸作業。

上述磨削裝置具有向裝配在輪座上的磨削輪供給磨削液的磨削液供給構件，磨削液供給構件具有：第1供給管，其與第1抽吸管平行地沿旋轉軸的長度方向貫穿旋轉軸的內部；第2供給管，其與第1供給管連通并且與供給口連接；以及通液閥，其對從供給口流通磨削液和切斷流通進行切換，因此在板狀工件的磨削中，通過打開通液閥，能夠向供給口供給磨削液，并且能夠對形成于輪座的裝配面和磨削輪的被裝配面之間的間隙進行液體密封來封閉該間隙。因此，能夠防止在板狀工件的磨削中產生的磨削屑等侵入到形成于磨削輪的被裝配面和輪座的裝配面之間的間隙，磨削輪不會過度緊貼于輪座，從而能夠從輪座容易地卸下磨削輪。