[發明專利]沉積源在審
| 申請號： | 201310572117.2 | 申請日： | 2013-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN104278236A | 公開（公告）日： | 2015-01-14 |
| 發明（設計）人： | 張熙宣 | 申請（專利權）人： | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/12 | 分類號： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286 | 代理人： | 韓明星;劉燦強 |
| 地址： | 韓國京畿*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 沉積 | ||
【權利要求書】：
1.一種沉積源，包括：
主體部件，形成為能夠使有機物向上側排出；
發熱單元，形成于所述主體部件而用于對所述主體部件進行加熱。
2.如權利要求1所述的沉積源，其中，所述發熱單元形成于所述主體部件的表面。
3.如權利要求1所述的沉積源，其中，所述主體部件形成有內部空間，而所述發熱單元形成于包圍所述主體部件的內部空間的所述主體部件的內壁面。
4.如權利要求1所述的沉積源，其中，所述發熱單元形成為帶狀。
5.如權利要求1所述的沉積源，其中，所述發熱單元包括：
第一發熱部，形成于所述主體部件的局部；
第二發熱部，形成于所述主體部件中除了形成有所述第一發熱部的部分以外的其余部分。
6.如權利要求5所述的沉積源，其中，所述第一發熱部以將所述主體部件劃分為左側和右側的中心為基準而形成于所述主體部件的右側和左側中的某一區域，而所述第二發熱部形成于其余區域。
7.如權利要求5所述的沉積源，其中，所述第一發熱部形成于所述主體部件的中央區域，而所述第二發熱部分別形成于除了所述第一發熱部以外的所述主體部件的兩側。
8.如權利要求5所述的沉積源，其中，所述第二發熱部比所述第一發熱部更密集。
9.如權利要求5所述的沉積源，其中，包括一個向所述第一發熱部和第二發熱部供應電源的電源部。
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