[發(fā)明專利]微小孔徑工件內(nèi)壁的光學(xué)檢測系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310569439.1
• 申請日: 2013-11-15
• 公開（公告）號: CN103575748A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 游睿;沈立成;姚瑤;李超;陳欣
• 申請（專利權(quán)）人: 上海交通大學(xué)
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 上海浦東良風(fēng)專利代理有限責(zé)任公司 31113
• 代理人: 陳志良

1.一種微小孔徑工件內(nèi)壁的光學(xué)檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述的檢測系統(tǒng)包括面陣CCD攝像機(jī)（1）、遠(yuǎn)心鏡頭（2）、同軸光源（3）、被測工件（4）、球形反射鏡（5）、反射鏡支架（6）、精密豎直位移平臺（7）、精密水平位移平臺（8）、光學(xué)支架（9）和計算機(jī)（10）；將遠(yuǎn)心鏡頭（2）與CCD攝像機(jī)（1）前段鏡頭裝配起來，并與同軸光源（3）、被測工件（4）按照從上到下的順序，依次固定在光學(xué)支架（8）之上，并調(diào)節(jié)光學(xué)支架位置，使鏡頭軸心與被測工件軸心在同一豎直軸線上，將球形反射鏡（5）放置并固定于反射鏡支架（6）上，并將反射鏡支架（6）水平固定于精密豎直位移平臺（7）上，精密豎直位移平臺（7）和精密水平位移平臺（8）組合使用，實(shí)現(xiàn)球形反射鏡（5）所在空間位置的精密調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)精密豎直位移平臺（7）的高度，使球形反射鏡（5）從被測工件（4）的底部深入工件孔內(nèi)部，并調(diào)整精密水平位移平臺，使球形反射鏡的中心位于被測工件豎直軸心上，將CCD攝像機(jī)（1）通過千兆網(wǎng)線與計算機(jī)（10）相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求?1?所述的微小孔徑工件內(nèi)壁的光學(xué)檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述的球形反射鏡（5）是在高精度透鏡球表面鍍上一層高反射率金屬薄膜制成，其球形誤差和直徑變動量均不超過0.5μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求?1?所述的微小孔徑工件內(nèi)壁的光學(xué)檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述的球形反射鏡（5）在球的上半部分水平切除一小塊平面并將切面涂黑，以用作檢測獲取球形反射鏡（5）的圓心。

4.根據(jù)權(quán)利要求?1?所述的微小孔徑工件內(nèi)壁的光學(xué)檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述被測工件（4）上的工件孔的孔徑不大于3.5mm。