[發(fā)明專利]一種LED生產(chǎn)中排放廢氨氣現(xiàn)場回收再利用的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310568411.6
• 申請日: 2013-11-15
• 公開（公告）號: CN103673505A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金向華;李荷慶
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州金宏氣體股份有限公司
• 主分類號: F25J3/02
• 分類號: F25J3/02
• 代理公司: 南京眾聯(lián)專利代理有限公司 32206
• 代理人: 周新亞

1.一種LED生產(chǎn)中排放廢氨氣現(xiàn)場回收再利用的裝置，它包括：增壓風(fēng)機、氣體精密過濾器、氣體壓縮機、氣體預(yù)冷器、氨氣深冷器、氣液分離器、深度冷凍機、液氨接受兼高位槽、精餾塔釜兼汽化器、精餾塔提純塔、塔頂冷凝器、塔頂高位槽、金屬管占子流量計、自動調(diào)節(jié)閥、工業(yè)液氨接受罐，其特征是所述增壓風(fēng)機連接氣體精密過濾器，氣體精密過濾器連接氣體壓縮機，氣體壓縮機連接氣體預(yù)冷器上端，氣體預(yù)冷器右側(cè)連接液氨接受兼高位槽，氣體預(yù)冷器左側(cè)連接氣液分離器，氣體預(yù)冷器下端連接氨氣深冷器，氨氣深冷器下方連接氣液分離器，氨氣深冷器右側(cè)連接深度冷凍機，所述的液氨接受兼高位槽底部設(shè)有金屬管占子流量計Ⅰ，金屬管占子流量計Ⅰ連接自動調(diào)節(jié)閥Ⅰ并與精餾塔釜兼汽化器連接；所述的精餾塔釜兼汽化器上端中間位置處設(shè)有精餾塔提純塔，所述的精餾塔提純塔頂部通過導(dǎo)管連接塔頂冷凝器，所述的塔頂冷凝器上方右側(cè)位置處設(shè)有金屬管占子流量計Ⅳ和自動調(diào)節(jié)閥Ⅳ，塔頂冷凝器下方設(shè)有塔頂高位槽，所述的精餾塔提純塔頂端右側(cè)位置處設(shè)有自動調(diào)節(jié)閥Ⅱ，自動調(diào)節(jié)閥Ⅱ通過金屬管占子流量計Ⅱ連接塔頂高位槽底部；所述的塔頂高位槽右側(cè)下方三分之一位置處設(shè)有工業(yè)液氨出料口，出料口與金屬管占子流量計Ⅲ連接，金屬管占子流量計Ⅲ連接自動調(diào)節(jié)閥Ⅲ并與兩個工業(yè)液氨接受罐連接，所述的精餾塔釜兼汽化器底部設(shè)有工業(yè)液氨充裝口，工業(yè)液氨接受罐底部設(shè)有工業(yè)液氨充裝口連接充裝泵，用于工業(yè)液氨成品鋼瓶充裝。

2.一種LED生產(chǎn)中排放廢氨氣現(xiàn)場回收再利用的方法，其特征是該方法包括以下幾個步驟：

（1）、增壓風(fēng)機將排放混合廢氣增壓：LED氣相沉積過程中排出的接近常壓的氨氣、氮氣、氫氣混合氣體，用增壓風(fēng)機將常壓氣體增加到0.01MPa～0.06?MPa，以減輕道壓縮機的吸氣負擔(dān)；

（2）、氣體精密過濾器過濾：用過濾精度達到1um的氣體精密過濾器，將氣體中的顆粒物去除；

（3）、氣體壓縮機將混合廢氣增壓：用氣體壓縮機將混合氣體增壓到1.0MPa～3.0MPa壓力范圍內(nèi)；

（4）、壓縮混合氣體預(yù)冷：壓縮以后的混合氣體進入氣體預(yù)冷器，使壓縮氣體從30℃～80℃降溫到0℃～20℃；

（5）、進入氨氣深冷器冷凝為液氨：降溫以后的混合氣體進入零下50℃～80℃有冷凍液循環(huán)的氨氣深冷器，使混合氣中的氨氣全部液化成液氨；

（6）、混合氣液進入氣液分離器：上述經(jīng)過增壓、深冷的混合氣液進入氣體和液體的氣液分離器，由于旋風(fēng)分離和重力分離二作用，已冷凝的液氨沉積在分離器底部，沒有冷凝的氮氣、氫氣從分離器上部排出；排出的氮氣、氫氣進入無害氣體排放系統(tǒng)；

（7）、分離出的液氨進入液氨接受兼高位槽：氣液分離后的液氨進入液氨接受兼高位槽，準備為下道精餾塔提純液氨作加料；

（8）、精餾塔提純：液氨接受兼高位槽中的液氨在壓力平衡和液位存在下，經(jīng)金屬管占子流量計，經(jīng)原料液氨加料口進入汽化器兼精餾塔塔釜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種LED生產(chǎn)中排放廢氨氣現(xiàn)場回收再利用的裝置，其特征是所述的液氨接受兼高位槽液相口管道至少高出精餾塔釜兼汽化器進料口100CM。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種LED生產(chǎn)中排放廢氨氣現(xiàn)場回收再利用的方法，其特征是所述的塔釜、塔頂溫度最低為0℃，最高為30℃，壓力最小為0.4Mpa，最大為1.2Mpa范圍內(nèi)，冷卻水溫度控制最低為-10℃，最高為20℃，塔頂冷凝器輕組份的放空與回流量之比最低為1:20，最高為1：120，加料量與塔頂放空量之比最低為1:20，最高為1：120。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種LED生產(chǎn)中排放廢氨氣現(xiàn)場回收再利用的方法，其特征是所述的增壓風(fēng)機采用的是無腐蝕性無二次污染的304?L不銹鋼材料，所述的氣體精密過濾器是用四氟乙烯材料燒結(jié)而成的，無腐蝕、無污染，所述的氣體壓縮機是采用的無油潤滑壓縮機，不會對氣體造成二次污染，所述的氨氣深冷器是采用能耐用零下100℃以上的316L不銹鋼材料制成，所述的氣液分離器是采用能耐用零下100℃以上的316L不銹鋼材料制成的鏍旋式氣液分離器。