[發(fā)明專利]一種制備金剛石薄膜的簡單裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310567348.4
• 申請(qǐng)日: 2013-11-14
• 公開（公告）號(hào): CN103643218A
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 秦文鋒;李學(xué)軍;楊文志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中山市創(chuàng)科科研技術(shù)服務(wù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/27
• 分類號(hào): C23C16/27;C23C16/50
• 代理公司: 中山市銘洋專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44286
• 代理人: 吳劍鋒

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種制備金剛石薄膜的簡單裝置。?

背景技術(shù)

金剛石薄膜具有很高的硬度、較好的熱導(dǎo)性，耐磨損性，極佳的化學(xué)惰性，和從遠(yuǎn)紅外區(qū)到深紫外區(qū)完全透明等優(yōu)點(diǎn)。金剛石薄膜在焊接刀具、大功率激光器、半導(dǎo)體以及X射線窗口等領(lǐng)域有著廣泛的前景。?

現(xiàn)有用于制備金剛石薄膜的裝置，其結(jié)構(gòu)一般比較復(fù)雜，生產(chǎn)成本高。故此，現(xiàn)有用于制備金剛石薄膜的裝置有待于進(jìn)一步完善。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處，提供一種結(jié)構(gòu)簡單，制作方便，生產(chǎn)成本低，用于制備金剛石薄膜的簡單裝置。?

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用以下方案：?

一種制備金剛石薄膜的簡單裝置，包括有反應(yīng)室，其特征在于：在所述的反應(yīng)室下方設(shè)有氣體入口，在所述反應(yīng)室內(nèi)與所述氣體入口對(duì)應(yīng)的位置上設(shè)有陰極，在所述的陰極上設(shè)有多個(gè)透氣孔，在所述陰極上方設(shè)有水冷陽極，基片設(shè)置在水冷陽極上，所述的水冷陽極與陰極通過導(dǎo)線相連接。?

如上所述的一種制備金剛石薄膜的簡單裝置，其特征在于在所述?的陰極上內(nèi)設(shè)有水冷容腔，在所述的陰極設(shè)有與所述水冷容器相連接的進(jìn)水口。?

如上所述的一種制備金剛石薄膜的簡單裝置，其特征在于所述水冷陽極與陰極通過導(dǎo)線連接有電源。?

如上所述的一種制備金剛石薄膜的簡單裝置，其特征在于所述水冷陽極包括有陽極本體，在所述的陽極本體上設(shè)有水冷進(jìn)口。?

如上所述的一種制備金剛石薄膜的簡單裝置，其特征在于所述水冷陽極與陰極之間的距離為2cm。?

綜上所述，本發(fā)明的有益效果：?

本發(fā)明工藝方法簡單，制作方便，生產(chǎn)成本相對(duì)較低。?

附圖說明

圖1為本發(fā)明的示意圖。?

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖說明和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步描述：?

如圖1所示，本發(fā)明一種制備金剛石薄膜的簡單裝置，包括有反應(yīng)室1，在所述的反應(yīng)室1下方設(shè)有氣體入口2，在所述反應(yīng)室1內(nèi)與所述氣體入口2對(duì)應(yīng)的位置上設(shè)有陰極3，在所述的陰極3上設(shè)有多個(gè)透氣孔4，在所述陰極3上方設(shè)有水冷陽極5，基片6設(shè)置在水冷陽極5上。?

本發(fā)明中所述水冷陽極5與陰極3通過導(dǎo)線7連接有電源8。?

本發(fā)明中在所述的陰極3上內(nèi)設(shè)有水冷容腔，在所述的陰極3設(shè)有與所述水冷容器相連接的進(jìn)水口9。?

本發(fā)明中所述水冷陽極5包括有陽極本體51，在所述的陽極本體51上設(shè)有水冷進(jìn)口52。所述水冷陽極5與陰極之間的距離為2cm。?

本發(fā)明裝置使用過程中壓力約28KPa的反應(yīng)氣體CH₄+H₂通過陰極3中的進(jìn)入反應(yīng)室1，水冷陽極5位于陰極3上方，基片6安裝在水冷陽極上，水冷陽極與陰極的距離為2cm，CH₄/H₂比率由0.3%變到4%，但流量固定在20sccm，所使用的典型放電條件為1KV和0.4nm/cm²,基片6溫度上升到800℃，其溫度可通過改變通入陽極的冷卻水的流量來改變。?

采用本發(fā)明裝置制備的金剛石薄膜，其面間距、點(diǎn)陣常數(shù)、維氏硬度與自然金剛石對(duì)應(yīng)值相符。?

以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理和主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。?