[發(fā)明專利]防止殘留液體滴落的管道有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310567168.6 | 申請(qǐng)日： | 2013-11-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN104624431B | 公開（公告）日： | 2018-11-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 肖東風(fēng);賈照偉;王堅(jiān);王暉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B05C11/00 | 分類號(hào)： | B05C11/00 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100 | 代理人： | 陸嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦東新*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 防止 殘留 液體 滴落 管道 | ||
1.一種防止殘留液體滴落的管道，其特征在于，包括：
供液管道，所述供液管道具有進(jìn)液口和出液口；
套管，所述套管套設(shè)在供液管道的外面，套管的內(nèi)壁與供液管道的外壁之間具有空隙，供液管道的進(jìn)液口從套管的端部伸出，套管的端部與供液管道之間密封連接，供液管道的出液口位于套管內(nèi)，供液管道的出液口與套管的管口之間間隔一定距離；及
抽真空裝置，所述抽真空裝置與套管連通，抽真空裝置對(duì)套管抽真空。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止殘留液體滴落的管道，其特征在于，所述抽真空裝置為文丘里管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止殘留液體滴落的管道，其特征在于，所述抽真空裝置包括連接管道及壓縮氣體管道，連接管道的一端與套管連通，連接管道的另一端位于壓縮氣體管道內(nèi)，壓縮氣體管道具有進(jìn)氣口和出氣口。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防止殘留液體滴落的管道，其特征在于，進(jìn)一步包括第一開關(guān)閥，所述第一開關(guān)閥設(shè)置在供液管道上，所述抽真空裝置包括第二開關(guān)閥，所述第二開關(guān)閥設(shè)置在壓縮氣體管道上，在關(guān)閉第一開關(guān)閥之前至之后的一時(shí)間段內(nèi)，打開第二開關(guān)閥，壓縮氣體進(jìn)入壓縮氣體管道，以對(duì)套管抽真空。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防止殘留液體滴落的管道，其特征在于，所述時(shí)間段由供液管道的出液口與套管的管口之間的高度差決定。
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