[發(fā)明專(zhuān)利]一種強(qiáng)流離子源電極的液態(tài)金屬兩級(jí)冷卻方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310566952.5 | 申請(qǐng)日: | 2013-11-14 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN103617941A | 公開(kāi)(公告)日: | 2014-03-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李軍;韋江龍;謝亞紅;胡純棟 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 中國(guó)科學(xué)院等離子體物理研究所 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01J27/02 | 分類(lèi)號(hào): | H01J27/02 |
| 代理公司: | 安徽合肥華信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112 | 代理人: | 余成俊 |
| 地址: | 230031 安徽*** | 國(guó)省代碼: | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 流離 電極 液態(tài) 金屬 兩級(jí) 冷卻 方法 | ||
1.一種強(qiáng)流離子源電極的液態(tài)金屬兩級(jí)冷卻方法,其特征在于:包括有引出系統(tǒng)電極金屬管,在引出系統(tǒng)電極金屬管左右端分別連接有封閉管路一和封閉管路二,封閉管路一和封閉管路二分別與腔體一和腔體二連通,腔體一和腔體二內(nèi)分別灌注有液態(tài)金屬,腔體一和腔體二上方分別設(shè)有進(jìn)氣管道一和進(jìn)氣管道二,在腔體一和腔體二底部還分別設(shè)有換熱器一和換熱器二,所述的換熱器一和換熱器二分別連接去離子水路管道一和去離子水路管道二,通過(guò)給進(jìn)氣管道一和進(jìn)氣管道二交替施加高壓氣使液態(tài)金屬經(jīng)過(guò)引出系統(tǒng)電極金屬管在腔體一和腔體二內(nèi)交替流動(dòng),把熱量傳遞給液態(tài)金屬,建立第一級(jí)換熱冷卻,在腔體一和腔體二內(nèi),由換熱器一與去離子水路管道一和換熱器二與去離子水路管道二建立兩個(gè)獨(dú)立的去離子水冷循環(huán),把熱量傳遞給去離子水,建立第二級(jí)換熱冷卻。
該專(zhuān)利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)。該專(zhuān)利全部權(quán)利屬于中國(guó)科學(xué)院等離子體物理研究所,未經(jīng)中國(guó)科學(xué)院等離子體物理研究所許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專(zhuān)利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310566952.5/1.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專(zhuān)利網(wǎng)。
- 上一篇:一種硅片廢切割液的提純方法
- 下一篇:防凝露真空滅弧室固封極柱





