[發明專利]緊湊型光刻投影物鏡

無效

• 申請號: 201310565988.1
• 申請日: 2013-11-14
• 公開（公告）號: CN103631002A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 蔡燕民;步揚;李中梁;曾愛軍;王向朝;黃惠杰
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G02B13/18
• 分類號: G02B13/18;G02B13/00;G03F7/20
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種緊湊型光刻投影物鏡，沿其光軸方向從物面一側依次包括第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡至第五透鏡、孔徑光闌、第六透鏡、第七透鏡、第八透鏡、第九透鏡、第十透鏡，其特征在于，所述的第一透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡、第六透鏡、第七透鏡、第八透鏡和第十透鏡具有正光焦度，所述的第二透鏡和第九透鏡具有負光焦度，所述的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡和第四透鏡為凹面朝向物面的彎月透鏡，所述的第五透鏡和第六透鏡為雙凸透鏡，所述的第七透鏡、第八透鏡、第九透鏡和第十透鏡為凹面朝向像面的彎月透鏡。

2.如權利要求1所述的緊湊型光刻投影物鏡，其特征在于，所述的第一透鏡的前表面和第十透鏡的后表面為非球面，第一透鏡的后表面和第十透鏡的前表面為球面，其它透鏡的表面均為球面。

3.如權利要求1所述的緊湊型光刻投影物鏡，其特征在于，所有十塊透鏡均采用高透過率的熔石英材料制成。