[發明專利]一種偏轉式助回復型MEMS懸掛梁結構
| 申請號： | 201310565071.1 | 申請日： | 2013-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN103552978A | 公開（公告）日： | 2014-02-05 |
| 發明（設計）人： | 唐潔影;王磊;黃慶安 | 申請（專利權）人： | 東南大學 |
| 主分類號： | B81B7/02 | 分類號： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 江蘇永衡昭輝律師事務所 32250 | 代理人： | 王斌 |
| 地址： | 210096*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 偏轉 回復 mems 懸掛 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種偏轉式助回復型MEMS懸掛梁結構，包括襯底（1）、位于襯底上的錨區、懸掛主梁（4）、固定連接在襯底（1）頂面且位于懸掛主梁（4）正下方中部的靜電下拉金屬電極（2），其特征在于：還包括兩根彎折支撐梁，該彎折支撐梁分別由一根與懸掛主梁（4）末端垂直連接的橫梁（51、61）和與該橫梁垂直連接的四根縱梁（52、53、54、55、62、63、64、65）組成，所有縱梁尺寸相同且末端連接在位于懸掛主梁（4）兩側的錨區（31、32、33、34）上；所述靜電下拉電極（2）上涂覆有防止懸掛主梁與下拉電極接觸時發生短路的介質薄層。
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