[發(fā)明專利]紅外線加熱石英燈管排氣系統(tǒng)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310564222.1 | 申請日： | 2013-11-13 |
| 公開（公告）號： | CN103560064A | 公開（公告）日： | 2014-02-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李建平;李榮;朱振鵬 | 申請（專利權(quán)）人： | 天津蘭普里克照明電器有限公司 |
| 主分類號： | H01J9/385 | 分類號： | H01J9/385 |
| 代理公司： | 天津才智專利商標(biāo)代理有限公司 12108 | 代理人： | 陳昌娟 |
| 地址： | 300385 天津市西*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 紅外線 加熱 石英 燈管 排氣 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種紅外線加熱石英燈管排氣系統(tǒng)，其特征在于：由真空回路（100）和充氣回路（200）組成，
所述真空回路（100）包括一耙狀管道（5），其由耙頭管道和耙柄管道組成，所述耙頭管道具有多個(gè)平行伸出的支管，在每一支管上各連接一排氣頭（7），在耙柄管道端部安裝有一真空泵（1），在真空泵（1）與耙頭管道之間的耙柄管道上裝有一電磁閥（3）；
所述充氣回路（200）的一端連接在所述耙頭管道上，在充氣回路（200）的管路上安裝有壓力表（9）和高壓閥門（A），在充氣回路（200）另一端的管路上連接有3個(gè)支氣管，在每一支氣管上各連接有一氣體壓力調(diào)節(jié)器（B1、B2、B3），所述3個(gè)支氣管的端口分別連接盛裝有成形氣體、鹵素填充氣體和高純氬氣的第1～第3鋼瓶（10、11、12）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣系統(tǒng)，其特征在于：所述的第1～3鋼瓶均為40L氣體鋼瓶。
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