[發明專利]有機電致發光器件及其制備方法在審
| 申請號: | 201310562147.5 | 申請日: | 2013-11-12 |
| 公開(公告)號: | CN104638187A | 公開(公告)日: | 2015-05-20 |
| 發明(設計)人: | 周明杰;鐘鐵濤;王平;陳吉星 | 申請(專利權)人: | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 |
| 主分類號: | H01L51/52 | 分類號: | H01L51/52;H01L51/54;H01L51/56 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 有機 電致發光 器件 及其 制備 方法 | ||
技術領域
本發明涉及光電子器件領域,尤其涉及有機電致發光器件及其制備方法。
背景技術
有機電致發光器件(OLED)是基于有機材料的一種電流型半導體發光器件。其典型結構是在氧化銦錫(ITO)玻璃上制作一層幾十納米厚的有機發光材料作發光層,發光層上方有一層低功函數的金屬電極。當電極上加有電壓時,發光層就產生光輻射。
OLED器件具有主動發光、發光效率高、功耗低、輕、薄、無視角限制等優點,被業內人士認為是最有可能在未來的照明和顯示器件市場上占據霸主地位的新一代器件。作為一項嶄新的照明和顯示技術,OLED技術在過去的十多年里發展迅猛,取得了巨大的成就。由于全球越來越多的照明和顯示廠家紛紛投入研發,大大的推動了OLED的產業化進程。
柔性產品是有機電致發光器件的發展趨勢,但目前普遍存在壽命短的問題,而封裝的好壞直接影響器件的壽命。為達封裝的目的,有機電致發光器件常設有具有鈍化保護的阻擋層。以無機材料(例如為氮化硅)作為有機電致發光器件的阻擋層的技術已相當成熟且廣泛應用于各式顯示器中。然而,在制作柔性的有機發光裝置(亦稱為可撓式有機發光裝置)的制造工藝中,由于無機材料的可撓性不佳,以致有機發光裝置在經過彎曲之后,阻擋層會產生裂縫。如此一來,水汽會經由裂縫滲入而影響薄膜晶體管的電性。若以有機材料作為鈍化保護層,則可擁有較佳的可撓性。然而,有機材料的阻水能力較無機材料差,因此水汽容易滲入有機發光裝置而影響其電性。因此,如何提升柔性的有機發光裝置的阻擋層的可靠性實為目前亟欲解決的議題之一。
發明內容
本發明的目的在于解決上述現有技術存在的問題和不足,提供一種有機電致發光器件,該有機電致發光器件為層狀結構,該層狀結構依次包括:陽極導電基板、空穴注入層、空穴傳輸層、發光層、電子傳輸層、電子注入層及陰極層,所述陰極層上還設有阻擋層,所述阻擋層由依次層疊的第一有機阻擋層、第一無機阻擋層、第二有機阻擋層和第二無機阻擋層組成;其中:
所述第一、第二有機阻擋層的材質均為氮氧硅化合物膜,所述氮氧硅化合物的化學式為SiOxNy,其中,x表示含氧量,0.01<x<2,y表示含氮量,0.01<y<1.3;
所述第一無機阻擋層的材質為由碲化物和氧化物組成的混合物;所述碲化物為Sb2Te3、Bi2Te、CdTe、In2Te3、SnTe或PbTe;所述氧化物為MgO、Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2或Ta2O5;所述碲化物占所述第一無機阻擋層的重量百分比為10~30wt%;所述氧化物占所述第一無機阻擋層的重量百分比為70~90wt;
所述第二無機阻擋層的材質為由氧化物和硒化物組成的混合物;所述氧化物為MgO、Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2或Ta2O5;所述硒化物為Sb2Se3、MoSe2、Bi2Se3、NbSe2、TaSe2或Cu2Se;所述氧化物占所述第二無機阻擋層的重量百分比為70~90wt%;所述硒化物占所述第二無機阻擋層的重量百分比為10~30wt%,所述氧化物占所述第一無機阻擋層的重量百分比為70~90wt%。
所述氮氧硅化合物膜是使用六甲基二硅胺、NH3和O2作為原材料并通過等離子增強化學氣相沉積方法而制得的。
所述氮氧硅化合物膜的厚度為150~200nm。
所述第一無機阻擋層和所述第二無機阻擋層的厚度為100nm~200nm。
所述空穴注入層的材質為由MoO3和N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-聯苯-4,4'-二胺相摻雜得的混合物,其中,MoO3與N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-聯苯-4,4'-二胺的重量百分比為0.3:1;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





