[發明專利]一種化學法鍍鈀銅鍵合絲及其制備方法

有效

• 申請號: 201310559415.8
• 申請日: 2013-11-13
• 公開（公告）號: CN103560120A
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發明（設計）人: 周曉光;杜連民;向翠華;蘇宏福;陳彪
• 申請（專利權）人: 北京達博有色金屬焊料有限責任公司
• 主分類號: H01L23/49
• 分類號: H01L23/49;H01L21/48;C22C9/00;C23C18/42
• 代理公司: 中國有色金屬工業專利中心 11028
• 代理人: 李子健;李迎春

1.一種化學法鍍鈀銅鍵合絲，其特征在于，所述鍵合絲的元素質量百分比為：銅的質量百分比大于99.95％，磷的質量百分比為0.003％-0.04％，錳的質量百分比為0.003％-0.01％，余量為不可避免的雜質。

2.一種制備如權利要求1所述鍍鈀銅鍵合絲的方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：(1)熔鑄和拉絲：在熔鑄過程中加入0.003％-0.04％的磷和0.003％-0.01％的錳，加熱方式采用中頻加熱，連鑄方式采用下引式真空連鑄，并控制熔鑄和拉絲條件為：熔鑄溫度為1100-1300℃，真空度1.0*10^-5Mpa，精煉時間20-40分鐘，連鑄速度150-300mm/分鐘，形成的銅坯直徑為4-10mm，拉絲速度為70-120m/min；

(2)化學鍍鈀：將銅鍵合絲成品在退火后單根放入鍍鈀液進行化學鍍鈀，鍍鈀液的鈀離子濃度為5-20克每升，鍍鈀條件為鍍鈀液的pH值控制在9.5-10.3，鍍鈀液的溫度控制在40-60攝氏度；

(3)退火：利用無水乙醇還原氧化銅的特性(CuO+CH₃CH₂OH-CH₃CHO+Cu+H₂O)，用氮氣加無水乙醇代替氮氫混合氣進行退火保護；退火溫度為250～500℃；

(4)清洗：利用無水乙醇在高溫蒸發時爆炸力打掉絲上的臟物；

(5)對清洗后的鍵合絲進行復繞。

3.根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(2)中使用的鍍鈀液中各成分的濃度為6.67～27.67g/L?PdCl、10～20g/L?NaH2PO2、100～160ml/L?NH4OH、10～60g/L?NH4Cl。

4.根據權利要求2或3所述的制備方法，其特征在于，所述化學鍍鈀、退火、清洗和復繞一體完成，鍍鈀退火復繞速度為50米每分鐘。