[發明專利]一種實時測量耗盡型場效應晶體管瞬態溫升和熱阻方法

有效

• 申請號: 201310558106.9
• 申請日: 2013-11-12
• 公開（公告）號: CN103604517A
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發明（設計）人: 馮士維;張亞民;馬琳;郭春生;朱慧
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: G01K7/01
• 分類號: G01K7/01;G01N25/20
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 劉萍

1.一種實時測量耗盡型場效應晶體管瞬態溫升和熱阻方法，其特征在于包括如下步驟：

將被測器件放置于一溫度為T0恒溫平臺；被測器件的柵電極不進行任何外部連接；漏電極接電壓源，電壓源產生低電平V_L，高電平為V_H的階梯電壓；被測器件的源電極連接至采樣電阻的一端，采樣電阻阻值為R1；采樣電阻的另一端接地，并將一采樣頻率400MHz以上的高速數據采集器接入采樣電阻兩端，以采集漏電流I_DS；

當電壓源由低電平變為高電平的同時，啟動高速數據采集器，采集漏電極電壓到達V_H后的漏電極電流I_DS(t)，當器件與恒溫平臺之間達到穩定狀態以后，漏電極電流不再發生變化，即達到穩態；電壓到達V_H的瞬間漏電極電流為I_DS0，溫升引起漏電極電流隨時間變化的曲線：

△I_DS(t)=I_DS(t)-I_DS0；

通過設置恒溫平臺溫度來設定兩個溫度T1、T2，分別采集兩個溫度下漏電極電壓到達V_H瞬間時的電流I_DS2、I_DS1，漏電極電流的溫度系數α；

α=(I_DS2-I_DS1)/(T2-T1)；

被測器件異質結瞬態溫升曲線△T(t)=(I_DS2-I_DS1)/α；將△T(t)數據輸入至商業熱阻測試儀器或結構函數處理軟件，即得到被測器件不同部位的溫升。