[發明專利]一種減速電極驅動裝置

有效

• 申請號: 201310557472.2
• 申請日: 2013-11-08
• 公開（公告）號: CN103794455A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 馬國宇;李晨冉
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/02
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強

1.一種減速電極驅動裝置，包括：X軸驅動機構(1)、Z軸驅動機構(2)、真空模塊(3)、真空電極引線模塊(4)、冷卻模塊(5)，其特征在于：兩驅動機構集成在同一滑動板上，結構緊湊，傳動效率高。

2.如權利要求1所述的一種減速電極驅動裝置，X軸驅動機構(1)包括伺服電機、同步帶和同步帶輪、電位計、光電行程開關、絲桿、導向桿等，其特征在于運行平穩，便于控制；不產生側向力，保證真空密封性；光電行程開關防止到達機械死限位時損壞電機。

3.如權利要求1所述的一種減速電極驅動裝置，Z軸驅動機構(2)采用伺服電機驅動同步帶和同步帶輪，同步帶輪驅動絲桿運動，將旋轉運動轉換成直線運動，進而實現對Z向運動產生很大的推力，克服密封圈產生的摩擦阻力；在固定板上配有直線導軌，其特征在于保障平穩的直線運動的同時，又能實現對位置的精確控制；安裝在組件上的直線電位計和光電行程開關防止到達機械死限位時損壞電機并易于控制。

4.如權利要求1所述的一種減速電極驅動裝置，真空電極引線模塊(4)由絕緣電極座、引出接線頭、密封圈、彈簧和接線柱等組成，其特征在于能夠承受電極較高電壓，真空密封，使用壽命長，便于安裝。

5.如權利要求1所述的一種減速電極驅動裝置，冷卻模塊(5)負責冷卻減速電極驅動裝置，降低減速電極高溫向減速電極驅動裝置的傳熱，防止密封圈因高溫失效。