[發(fā)明專利]反射腔式共焦超大曲率半徑測量方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310556602.0
• 申請日: 2013-11-11
• 公開（公告）號: CN103673926A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設計）人: 趙維謙;張鑫;王允;田繼偉
• 申請（專利權(quán)）人: 北京理工大學
• 主分類號: G01B11/255
• 分類號: G01B11/255
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.反射腔式共焦超大曲率半徑測量方法，其特征在于：

(a)打開點光源，其發(fā)出的光經(jīng)分光鏡、準直透鏡和平行平晶后進入由平行平晶后表面與被測表面組成的反射腔內(nèi)，在被測表面上反射形成會聚光束，經(jīng)平行平晶后表面和被測表面n次反射，在反射腔表面聚焦，然后沿原光路返回，反射回來的光由分光鏡反射進入共焦測量系統(tǒng)；

(b)調(diào)整平行平晶和被測件，使平行平晶和被測件被測表面與準直透鏡共光軸；

(c)沿光軸方向移動被測件，使會聚光束在反射腔內(nèi)經(jīng)過n次反射，聚焦到反射腔的一表面附近；在該位置附近掃描被測件，由共焦測量系統(tǒng)測得共焦響應曲線，通過共焦響應曲線的最大值點來精確確定會聚光束的焦點與該反射腔表面相重合，記錄此時被測件的位置z_n；

(d)將被測件沿光軸移動，使會聚光束在反射腔內(nèi)經(jīng)過m(m≠n)次反射，聚焦到反射腔的一表面附近；在該位置附近掃描被測件，由共焦測量系統(tǒng)測得共焦響應曲線，通過共焦響應曲線的最大值點來精確確定會聚光束的焦點與該反射腔表面相重合，記錄此時被測件的位置z_m；

(e)根據(jù)記錄的被測表面焦點位置z_n及z_m之間的距離d_m-n，以及由幾何光學計算得到的曲率半徑r與焦點位置距離d_m-n之間的比例系數(shù)可得被測表面的曲率半徑：r=km-n(n)dm-n,(n≠m).]]>

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射腔式共焦超大曲率半徑測量方法，其特征在于：在光路中增加環(huán)形光瞳對測量光束進行調(diào)制，形成環(huán)形光束，降低定焦時波相差對測量光束的影響，提高定焦精度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射腔式共焦超大曲率半徑測量方法，其特征在于：在測量光束中增加焦深壓縮光學系統(tǒng)，使其與共焦測量系統(tǒng)配合工作，提高定焦靈敏度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射腔式共焦超大曲率半徑測量方法，其特征在于：對點光源發(fā)出的光進行光強調(diào)制，由共焦測量系統(tǒng)中的光強傳感器探測得到受調(diào)制的共焦響應信號，將該調(diào)制信號解調(diào)后得到共焦響應曲線，從而提高系統(tǒng)的定焦靈敏度。