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[發(fā)明專利]一種粗化表面的透明電容無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201310553583.6 申請日: 2013-11-08
公開(公告)號: CN103594456A 公開(公告)日: 2014-02-19
發(fā)明(設計)人: 張翠 申請(專利權(quán))人: 溧陽市江大技術轉(zhuǎn)移中心有限公司
主分類號: H01L23/64 分類號: H01L23/64
代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司 32112 代理人: 黃明哲
地址: 213300 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 表面 透明 電容
【權(quán)利要求書】:

1.一種粗化表面的透明電容,包括:

第一透明電極,其用作透明電容的下電極;

位于第一透明電極上的透明絕緣介質(zhì)層,其用作透明電容的電荷存儲部;以及

位于透明絕緣介質(zhì)層上的第二透明電極,其用作透明電容的上電極,其中

第一透明電極和第二透明電極與透明絕緣介質(zhì)層之間的接觸表面是粗化表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粗化表面的透明電容,其中:

第一透明電極和第二透明電極的材料是具有透明導電性的材料,例如TCO,且TCO是ITO、ZnO、SnO2、FTO、ATO、AZO中的一種或多種或上述材料的復合薄膜,而且透明絕緣介質(zhì)層的材料包括:透明聚丙烯薄膜、透明聚酯薄膜(PET)、透明聚苯硫醚薄膜(PPS)、透明聚碳酸酯薄膜(PC)、透明聚苯亞甲萘薄膜(PEN)、透明聚偏二氟乙烯薄膜(PVPF)或上述材料的復合膜,且第一透明電極和第二透明電極以及透明絕緣介質(zhì)層的厚度小于等于3μm,優(yōu)選0.3μm-3μm,更優(yōu)選1μm-2.6μm,更優(yōu)選1.2μm-2.2μm,更優(yōu)選1.45-1.75μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的粗化表面的透明電容,其中粗化表面如下構(gòu)成:

將含鎳納米粒子分散液旋涂在第一透明電極的上表面以及第二透明電極的下表面,從而形成單層鎳納米粒子薄膜;

對單層鎳納米粒子薄膜進行烘干,形成ICP刻蝕所需的單層鎳納米粒子的掩模層;

利用單層鎳納米粒子的掩模層對第一透明電極和第二透明電極進行ICP刻蝕,從而在第一透明電極的上表面以及第二透明電極的下表面形成粗化表面;

去除單層鎳納米粒子的掩模層。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的粗化表面的透明電容,其中粗化表面如下構(gòu)成:

在第一透明電極的上表面以及第二透明電極的下表面分別排列單層自組裝聚苯乙烯顆粒,并在單層自組裝聚苯乙烯顆粒的間隙之間填充二氧化硅凝膠;

對單層自組裝聚苯乙烯顆粒進行加熱,從而使單層自組裝聚苯乙烯顆粒氣化,形成二氧化硅凹凸圖案;

利用二氧化硅凹凸圖案對第一透明電極和第二透明電極進行ICP刻蝕,從而將凹凸圖案轉(zhuǎn)移到在第一透明電極的上表面以及第二透明電極的下表面,從而形成粗化表面。

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