[發明專利]一種納米壓印設備無效
| 申請號： | 201310550106.4 | 申請日： | 2013-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN103558801A | 公開（公告）日： | 2014-02-05 |
| 發明（設計）人： | 王晶 | 申請（專利權）人： | 無錫英普林納米科技有限公司 |
| 主分類號： | G05B19/05 | 分類號： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 成立珍 |
| 地址： | 214192 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 納米 壓印 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種納米壓印設備，其特征在于：包括控制系統以及分別與之相連的真空系統、高壓系統、溫度控制系統、紫外系統和人機界面。
2.根據權利要求1所述的納米壓印設備，其特征在于：所述的控制系統主要由Delta?DVP40ES?PLC組成。
3.根據權利要求1所述的納米壓印設備，其特征在于：所述的控制系統通信方式為串口232。
4.根據權利要求1所述的納米壓印設備，其特征在于：所述的真空系統主要由直聯旋片式真空泵組成。
5.根據權利要求1所述的納米壓印設備，其特征在于：所述的紫外系統采用的紫外光源為手提式高壓貢燈。
6.根據權利要求1所述的納米壓印設備，其特征在于：所述的溫度控制系統采用PID控制。
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