[發明專利]分光裝置和分光用光源

無效

• 申請號: 201310549829.2
• 申請日: 2013-11-07
• 公開（公告）號: CN103808707A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 伊賀光博;田名網健雄;角龍信之
• 申請（專利權）人: 橫河電機株式會社
• 主分類號: G01N21/65
• 分類號: G01N21/65;G01J3/02;G02B26/08
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 李雪春;王維玉

1.一種分光裝置，其特征在于，包括：

光學系統，使輸出光透過，所述輸出光從接收到來自光源的照射光的試樣輸出；

二維陣列光檢測器，拍攝透過所述光學系統的光；以及

控制器，

所述光學系統包括：

第一光學器，設置在所述試樣和所述二維陣列光檢測器之間；

第二光學器，設置在所述二維陣列光檢測器和所述第一光學器之間；以及

可變帶通濾光器，設置在所述第一光學器和所述試樣之間、以及所述第二光學器和所述二維陣列光檢測器之間的至少一個上，

所述控制器配合所述二維陣列光檢測器的拍攝時機，改變所述可變帶通濾光器的光透過波長頻帶。

2.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，所述控制器通過控制所述可變帶通濾光器，掃描預先確定的多個所述透過波長頻帶。

3.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，

所述控制器通過控制所述二維陣列光檢測器的拍攝時機，以預先確定的時間間隔拍攝所述輸出光，

并且通過控制所述可變帶通濾光器，將所述透過波長頻帶改變為具有預先確定的間隔的波長頻帶。

4.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，

所述分光裝置還包括偏振器，所述偏振器使透過所述可變帶通濾光器的光向預先確定的偏振光方向偏振，

所述控制器改變所述偏振器的偏振光方向。

5.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，還包括光軸調整器，所述光軸調整器修正來自所述試樣的輸出光光軸在二維平面上的位置偏移。

6.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，

所述可變帶通濾光器包括多個濾光器，所述多個濾光器具有相互不同的透過波長頻帶，

所述分光裝置還包括支承構件，所述支承構件能夠切換所述多個濾光器，并且將所述多個濾光器支承成能夠相對于光軸轉動。

7.根據權利要求6所述的分光裝置，其特征在于，

所述支承構件是能夠轉動的圓板狀的濾光輪，

所述濾光輪支承所述濾光器使其在規定的轉動位置與光軸相交。

8.根據權利要求6所述的分光裝置，其特征在于，所述支承構件是能夠沿與光軸相交的直線移動的滑動件。

9.根據權利要求6所述的分光裝置，其特征在于，還包括轉動器，所述轉動器使整個所述支承構件相對于光軸轉動。

10.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，所述光學系統能夠與顯微鏡或望遠鏡的光學系統連接或一體化。

11.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，所述可變帶通濾光器根據相對于光軸的入射角度使透過波長頻帶變化。

12.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，所述第一光學器和所述第二光學器形成遠心光學系統。

13.一種分光用光源，其特征在于，包括：

權利要求1～12中任意一項所述的分光裝置；以及

光源，向所述試樣照射光。