[發明專利]一種用于微型熱光電系統的光子晶體過濾器有效
| 申請號： | 201310548878.4 | 申請日： | 2013-11-07 |
| 公開（公告）號： | CN103675972A | 公開（公告）日： | 2014-03-26 |
| 發明（設計）人： | 唐愛坤 | 申請（專利權）人： | 江蘇大學 |
| 主分類號： | G02B5/20 | 分類號： | G02B5/20;H01L31/054;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 南京知識律師事務所 32207 | 代理人： | 盧亞麗 |
| 地址： | 212013 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 微型 光電 系統 光子 晶體 過濾器 | ||
1.一種用于微型熱光電系統的光子晶體過濾器，其特征在于：所述光子晶體過濾器由兩個一級禁帶中心波長分別為2.34μm和3.0μm的Si/SiO2多層交替疊加的薄膜組合而成，兩種多層膜的基本結構均為(L/2HL/2)5，其疊加結構為[1.10(L/2HL/2)](L/2HL/2)3[1.10(L/2HL/2)][0.95(L/2HL/2)](L/2HL/2)3[0.95(L/2HL/2)]，所述新型過濾器具有10個周期單元，共21層。
2.根據權利要求1所述的一種用于微型熱光電系統的光子晶體過濾器，其特征在于：將中心波長為2.34μm的基本(L/2HL/2)5結構修正為[1.10(L/2HL/2)](L/2HL/2)3[1.10(L/2HL/2)]。
3.根據權利要求1所述的一種用于微型熱光電系統的光子晶體過濾器，其特征在于：將中心波長為3.0μm的基本(L/2HL/2)5結構，修正為[0.95(L/2HL/2)](L/2HL/2)3[0.95(L/2HL/2)]。
4.根據權利要求1所述的一種用于微型熱光電系統的光子晶體過濾器，其特征在于：所述晶體過濾器在1.1～1.78μm波長范圍內平均透射率達到了0.95；在2～4μm的波長范圍內反射率接近1，在4～5μm波長范圍內的平均反射率達到了0.4。
5.根據權利要求1所述的一種用于微型熱光電系統的光子晶體過濾器，其特征在于：所述的一維Si/SiO2光子晶體過濾器各層材料和厚度如下表所示，厚度單位為nm：
6.根據權利要求1所述的一種用于微型熱光電系統的光子晶體過濾器，其特征在于：基片采用GaSb光電池，多層薄膜將以一定的厚度通過真空濺射的方法直接鍍在光電池上。
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