[發明專利]一種新型熱塑性壓印膠及其合成與應用方法

有效

• 申請號: 201310544557.7
• 申請日: 2013-11-06
• 公開（公告）號: CN103631088A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 顧榮華
• 申請（專利權）人: 無錫英普林納米科技有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 南京知識律師事務所 32207
• 代理人: 李媛媛

1.一種新型熱塑性壓印膠，其特征在于，該熱塑性壓印膠的材料為聚甲基丙烯酸異冰片酯，其分子量Mn≈100000，玻璃化轉變溫度Tg=90℃。

2.一種新型熱塑性壓印膠的合成方法，其特征在于，制備步驟如下：

a)稱取適量的引發劑放入反應裝置中，保證磁子攪拌，通氮氣3分鐘；

b)稱取一定量的單體丙烯酸異冰片酯，溶入適量溶劑后倒入反應裝置中，繼續通氮氣3分鐘以確保聚合反應在完全的氮氣保護氛圍中進行；

c)在反應溫度70℃、氮氣氛圍下反應24小時；

d)將反應液過濾處理后，加入甲醇沉淀出合成好的聚甲基丙烯酸異冰片酯，在40℃真空干燥24小時。

3.根據權利要求2所述的一種新型熱塑性壓印膠的合成方法，其特征在于，所述步驟b)中的單體丙烯酸異冰片酯的量為5g，適量溶劑為氯苯45g。

4.利用如權利要求2制備的新型熱塑性壓印膠在納米壓印技術中的應用，包括如下步驟：

a)將制備的聚甲基丙烯酸異冰片酯用氯苯溶劑配成5wt%的熱塑性壓印膠，以轉速3000RPM旋涂在硅襯底上；

b)在溫度120℃、壓力0.6MPa的條件下，在熱塑性壓印膠上壓印出400nm周期的點陣結構；

c)通過氧氣等離子體刻蝕去除壓印膠殘余層，暴露出硅襯底表面，再利用電子束蒸發鍍膜沉積金屬材料；

d)將步驟c)制備的樣品放入甲苯中超聲30秒，得到與壓印模板結構相同的金屬圖案結構。