[發明專利]一種用于制造特殊氣瓶內派瑞林覆層的方法和裝置

在審

• 申請號: 201310541313.3
• 申請日: 2013-11-05
• 公開（公告）號: CN103556116A
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發明（設計）人: 欽瑞良;廖致嘉;姚社春;李翔
• 申請（專利權）人: 蘇州市江南精細化工有限公司
• 主分類號: C23C14/12
• 分類號: C23C14/12;C23C16/00;C23C16/455
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 何蔚

1.?一種用于特殊氣瓶內制造派瑞林覆層的方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：將制備派瑞林覆層的材料經過蒸發、裂解，然后使其通過導氣管，直接傳送到氣瓶內部，在氣瓶內表面沉積，形成派瑞林覆層。

2.?根據權利要求1所述的用于特殊氣瓶內制造派瑞林覆層的方法，其特征在于，所述制備派瑞林覆層的材料為對二甲苯環二體或其鹵代衍生物或烷基衍生物。

3.?根據權利要求2所述的用于特殊氣瓶內制造派瑞林覆層的方法，其特征在于，所述制備派瑞林覆層的材料為對二甲苯環二體或二鹵代對二甲苯環二體或二烷基對二甲苯環二體。

4.?根據權利要求1~3任一所述的用于特殊氣瓶內制造派瑞林覆層的方法，其特征在于，所述覆層制備過程均在真空條件下進行。

5.?一種用于特殊氣瓶內制造派瑞林覆層的裝置，其特征在于，所述裝置包括蒸發室、裂解室、導氣管、沉積室、冷阱、真空系統。

6.?根據權利要求5所述的用于特殊氣瓶內制造派瑞林覆層的裝置，其特征在于，所述導氣管伸入到氣瓶內部，導氣管壁上分布有導氣孔。

7.?根據權利要求6所述的用于特殊氣瓶內制造派瑞林覆層的裝置，其特征在于，所述導氣管為圓筒形，長度0.2米-0.8米，直徑3毫米-10毫米；材質為不銹鋼。

8.?根據權利要求6或7所述的用于特殊氣瓶內制造派瑞林覆層的裝置，其特征在于，根據一次性制備覆層的氣瓶數量，所述導氣管可以經由氣體分配頭組合成單管、雙管或多管的形式。

9.?根據權利要求5所述的用于特殊氣瓶內制造派瑞林覆層的裝置，其特征在于，所述特殊氣瓶放置在沉積室內，根據氣瓶大小和一次性制備覆層的氣瓶數量確定沉積室的大小。

10.?根據權利要求9所述的用于特殊氣瓶內制造派瑞林覆層的裝置，其特征在于，所述沉積室長1-1.5米，寬1-4米，高1-1.5米，材質為碳鋼或不銹鋼，可放置特殊氣瓶1-4個。