[發明專利]一種半導體多電學參數的自動化測試系統

在審

• 申請號: 201310539101.1
• 申請日: 2013-11-04
• 公開（公告）號: CN104614654A
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發明（設計）人: 胡志高;李旭瑞;褚君浩
• 申請（專利權）人: 華東師范大學
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 上海麥其知識產權代理事務所(普通合伙) 31257
• 代理人: 董紅曼

1.一種半導體多電學參數的自動化測試系統，其特征在于，包括：

測試環境調控單元，其用以提供不同溫度、磁場和光照的測試環境；

信號測試單元，其用以測試在所述測試環境下被測樣品的電輸運參數；

主控單元，其控制所述測試環境調控單元調節所述測試環境，控制所述信號測試單元完成自動化測試以及處理分析上所述被測樣品的電輸運參數。

2.如權利要求1所述半導體多電學參數的自動化測試系統，其特征在于，所述信號測試單元包括：

電流源(103)，其與所述被測樣品連接，用于提供測試過程中所述被測樣品的電流；

納伏表(104)，用于測試所述測試信號的電壓；

程控源表(105)，其與所述被測樣品連接，用于測試超高電阻值以及所述被測樣品的I-V曲線；

多通道程控開關控制器(106)，用于在測試過程中實現測量樣品信號引腳的自動切換；所述樣品信號引腳與所述被測樣品連接；

霍爾效應卡(107)，其設置在所述多通道程控開關控制器(106)的卡槽中，接口分別與所述電流源(103)、所述納伏表(104)、所述程控源表(105)以及所述被測樣品連接，用于信號隔離以及配合所述多通道程控開關控制器(106)進行所述樣品信號引腳的自動切換。

3.如權利要求2所述半導體多電學參數的自動化測試系統，其特征在于，所述信號測試單元進一步包括遠端前置放大器(501)；所述程控源表(105)通過所述遠端前置放大器(501)與所述被測樣品連接，使所述程控源表(105)可測試高達太歐姆數量級的電阻。

4.如權利要求2所述的半導體多電學參數的自動化測試系統，其特征在于，進一步包括：所述霍爾效應卡(107)通過三軸屏蔽線與所述電流源(103)、所述納伏表(104)及所述程控源表(105)連接；所述霍爾效應卡(107)通過BNC線與所述樣品信號引腳連接。

5.如權利要求1所述的半導體多電學參數的自動化測試系統，其特征在于，所述測試環境調控單元包括液氦磁光裝置(108)、光源裝置(113)、超導磁體電流源(110)與溫控儀(111)；

所述液氦磁光裝置(108)與所述超導磁體電流源(110)和所述溫控儀(111)連接，所述光源裝置(113)正對于所述液氦磁光裝置(108)設置；

所述超導磁體電流源110與所述溫控儀111與所述主控單元連接。

6.如權利要求5所述的半導體多電學參數的自動化測試系統，其特征在于，所述液氦磁光裝置(108)設有樣品倉(802)、超導磁體與加熱器；

所述樣品倉(802)中設有窗片(801)，所述樣品倉(802)中容納所述被測樣品；所述光源裝置(113)的光線透過所述窗片(801)照射在所述被測樣品(4)上形成光照，所述超導磁體電源(110)通過所述超導磁體在所述樣品倉(802)中形成磁場，所述溫控儀(111)通過所述加熱器控制所述樣品倉(802)內的溫度。

7.如權利要求1所述的半導體多電學參數的自動化測試系統，其特征在于，所述主控單元通過GPIB板卡(5)與所述測試環境調控單元和所述信號測試單元連接。