[發明專利]高硬度拋光液在審
| 申請號： | 201310538565.0 | 申請日： | 2013-11-05 |
| 公開（公告）號： | CN103614080A | 公開（公告）日： | 2014-03-05 |
| 發明（設計）人： | 夏澤軍 | 申請（專利權）人： | 昆山宏凌電子有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京瑞思知識產權代理事務所(普通合伙) 11341 | 代理人： | 李濤 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硬度 拋光 | ||
【權利要求書】：
1.一種高硬度拋光液，其溶劑親水的去離子水，且還含有：
10%烷基醇酰胺磷酸酯；
5~10%的活性劑；
固體含量30~35%的SiO2膠體粒子，且所述SiO2膠體粒子的直徑為50nm；且
pH值為2.5。
2.如權利要求1所述的拋光液，其特征在于：所述拋光液中Cu和Fe的總含量小于50ppm。
3.如權利要求1所述的拋光液，其特征在于：通過HCl調整所述拋光液的pH值。
4.如權利要求1所述的拋光液，其特征在于：所述拋光液被用于拋光LED的藍寶石襯底或半導體硅片。
5.如權利要求1所述的拋光液，其特征在于：所述拋光液中還具有1%的水溶性苯駢三氮唑。
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