[發明專利]硬掩模組合物的單體、硬掩模組合物及形成圖案的方法

有效

• 申請號: 201310535509.1
• 申請日: 2013-11-01
• 公開（公告）號: CN103910610A
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 李范珍;金潤俊;趙娟振
• 申請（專利權）人: 第一毛織株式會社
• 主分類號: C07C39/12
• 分類號: C07C39/12;G03F7/004;G03F7/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;張英

1.一種由以下化學式1表示的用于硬掩模組合物的單體：

[化學式1]

其中，在上述化學式1中，

A¹是脂族環狀基團或芳族環狀基團，

A²至A⁴各自獨立地為苯基，

X¹至X³各自獨立地為羥基、亞硫酰基、硫醇基、氰基、取代或未取代的氨基、取代或未取代的C1至C30烷基、取代或未取代的C1至C20烷基胺基團、或取代或未取代的C1至C30烷氧基，

M是CR^a、SiR^b、N、P、PR^cR^d、或PR^e，以及

n是范圍為1至4的整數，

條件是，在M中，R^a、R^b、R^c和R^d各自獨立地為氫、取代或未取代的C1至C10烷基、鹵素原子、含鹵素基團、或它們的組合，以及

R^e是氧(O)或硫(S)。

2.根據權利要求1所述的單體，其中，所述A¹是取代或未取代的環狀基團，所述環狀基團選自以下組1：

[組1]

其中，在所述組1中，

Z¹和Z²各自獨立地為單鍵、取代或未取代的C1至C20亞烷基、取代或未取代的C3至C20環亞烷基、取代或未取代的C6至C20亞芳基、取代或未取代的C2至C20雜亞芳基、取代或未取代的C2至C20亞烯基、取代或未取代的C2至C20亞炔基、C=O、NR^f、氧(O)、硫(S)、或它們的組合，其中R^f是氫、取代或未取代的C1至C10烷基、鹵素原子、或它們的組合，以及

Z³至Z¹⁷獨立地是C=O、NR^g、氧(O)、硫(S)、CR^hRⁱ、或它們的組合，其中R^g至Rⁱ各自獨立地為氫、取代或未取代的C1至C10烷基、鹵素原子、含鹵素基團、或它們的組合。

3.根據權利要求1所述的單體，其中，所述X¹是羥基。

4.根據權利要求1所述的單體，所述單體由以下化學式2、化學式3、或化學式4表示：

[化學式2]

[化學式3]

[化學式4]

其中，在上述化學式2至4中，

X^a、X^b、X^c、X^d、X^e、X^f、X^g、X^h、Xⁱ、X^j、X^k和X^l獨立地是羥基、亞硫酰基、硫醇基、氰基、取代或未取代的氨基、取代或未取代的C1至C30烷基、取代或未取代的C1至C20烷基胺基團、或取代或未取代的C1至C30烷氧基。

5.根據權利要求1所述的單體，其中，所述單體具有300至3,000的分子量。