[發明專利]多電極石英力敏諧振器

在審

• 申請號: 201310534435.X
• 申請日: 2013-11-04
• 公開（公告）號: CN104601140A
• 公開（公告）日: 2015-05-06
• 發明（設計）人: 田文杰;樸林華;孫有彬;蘭柏陽
• 申請（專利權）人: 北京信息科技大學
• 主分類號: H03H9/205
• 分類號: H03H9/205;H03H9/125
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

1.一種多電極石英力敏諧振器，涉及這種多電極石英力敏諧振器的設計、結構及制作，其特點是在同一石英晶體基片不同位置點有大小和形狀相同的多對獨立電極，每對獨立電極構成一個獨立諧振器，由此在同一石英晶體基片上的不同位置可形成多個獨立諧振器。

2.權利要求1所述的多電極石英力敏諧振器，各個獨立諧振器由以石英晶體基片為鏡像面的兩個對稱金屬電極及電極間的石英晶體構成，每對電極通過電極引線及電極外接引線與激勵電路連接。

3.權利要求1所述的多電極石英力敏諧振器，在同一石英晶體基片上的各個諧振器可均勻地分布在同一晶體基片上，也可分布不均勻。

4.權利要求1所述的多電極石英力敏諧振器的各個獨立的諧振器與自己的激勵電路連接時，能同時獨立工作，互不干擾。

5.權利要求1所述的多電極石英力敏諧振器，電極的大小及厚度由電極材料及諧振器諧振頻率的大小而定，電極材料為一切導電性能良好的金屬材料，如可以是金(Au)、鉑(Pt)、銀(Ag)、銅(Cu)、鋁(Al)等金屬。

6.權利要求1所述的多電極石英力敏諧振器，電極及電極引線可用濺射、蒸鍍等方法一次沉積完成。

7.權利要求1所述的多電極石英力敏諧振器，其石英晶體基片的厚度由所需設計的諧振頻率而定，晶體厚度約在1～0.01mm量級，晶片的直徑可根據設置電極數量的多少而定。

8.權利要求1所述的多電極石英力敏諧振器，其石英晶體基片的表面為拋光鏡面或未經拋光的毛面(白片)。

9.權利要求1所述的多電極石英力敏諧振器，其石英晶體基片的外邊沿為劈型平倒結構。