[發明專利]一種回收SiF4氣體綜合利用方法有效
| 申請號： | 201310534326.8 | 申請日： | 2013-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN103588209A | 公開（公告）日： | 2014-02-19 |
| 發明（設計）人： | 薛彥輝 | 申請（專利權）人： | 青島星火化工技術有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/12 | 分類號： | C01B33/12 |
| 代理公司： | 濟南舜源專利事務所有限公司 37205 | 代理人： | 王連君 |
| 地址： | 266555 山東省青島市*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 回收 sif sub 氣體 綜合利用 方法 | ||
1.一種回收SiF4氣體綜合利用方法，其特征在于包括以下步驟：將含有SiF4氣體的廢氣通過引風機引入吸收塔，將緩沖溶液從吸收塔頂端噴入吸收廢氣中的SiF4氣體，然后流入吸收塔底部形成固液混合物；再將吸收塔底部的固液混合物轉入壓濾機中進行固液分離，得到濾餅和濾液；再用水泵將濾液抽提到吸收塔的頂端與緩沖溶液混合噴淋，并將濾餅用清水清洗5-6次后通過干燥機干燥制得納米水合二氧化硅；所述緩沖溶液按照氟化氨1-10g，正丁醇0.2-2.5g，NaCl0.1-2g，濃度為1%-25%的氨水5-40ml，水40-60ml的配比比例配制而成。
2.根據權利要求1所述的一種回收SiF4氣體綜合利用方法，其特征在于：所述吸收塔為多級旋流吸收塔，吸收塔設有多層旋流板，所述的多層旋流板上設置有霧化噴頭。
3.根據權利要求1所述的一種回收SiF4氣體綜合利用方法，其特征在于，所述緩沖溶液的配比為：氟化氨4-7g，正丁醇1-1.5g，NaCl1-1.5g，濃度為10%-15%的氨水20-30ml，水45-55ml。
4.根據權利要求3所述的一種回收SiF4氣體綜合利用方法，其特征在于，所述緩沖溶液的配比為：氟化氨5g，正丁醇1.2g，NaCl1.2g，濃度為12%的氨水25ml，水50ml。
5.根據權利要求1所述的一種回收SiF4氣體綜合利用方法，其特征在于：低溫催化分解1000g鉀長石粉產生的含SiF4氣體的廢氣處理時，緩沖溶液的用量為18m3-20m3,緩沖溶液噴淋流速為10m3/h-15m3/h。
6.根據權利要求1所述的一種回收SiF4氣體綜合利用方法，其特征在于：所述干燥溫度為300℃。
7.根據權利要求1所述的一種回收SiF4氣體綜合利用方法，其特征在于：所述干燥機為閃蒸干燥機或烘箱式干燥機。
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