[發(fā)明專利]一種雙杠保護(hù)燒結(jié)舟

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310531386.4
• 申請(qǐng)日: 2013-11-01
• 公開（公告）號(hào): CN103556230A
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭城;呂明;紀(jì)大鵬;趙海玲;徐明星;郭英云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東科芯電子有限公司
• 主分類號(hào): C30B33/00
• 分類號(hào): C30B33/00;B22F7/08
• 代理公司: 濟(jì)南日新專利代理事務(wù)所 37224
• 代理人: 李茜

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及的是半導(dǎo)體電子元器件制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種雙杠保護(hù)燒結(jié)舟的改進(jìn)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體硅片在制造過(guò)程中需要進(jìn)行鎳燒結(jié)工序，現(xiàn)行燒結(jié)用舟在底舟棒處設(shè)置刻槽，所以，所使用承載工具受刻槽數(shù)量的限制，生產(chǎn)效率低下，并且兩側(cè)未有保護(hù)，破片嚴(yán)重，產(chǎn)出率低。這是現(xiàn)有技術(shù)的不足之處。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、解決了半導(dǎo)體硅片在燒制時(shí)載具工作效率低，雙側(cè)保護(hù)問(wèn)題的一種雙杠保護(hù)燒結(jié)舟。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種雙杠保護(hù)燒結(jié)舟，包括有底舟棒、舟頭等，其特征在于：在所述底舟棒的下面設(shè)置底板，在所述底板上設(shè)置花紋，在所述舟頭的兩側(cè)還設(shè)置有側(cè)舟棒，在所述底舟棒、側(cè)舟棒之間設(shè)置兩根以上側(cè)支撐，在所述舟頭的下端設(shè)置矩形通氣孔。取消底舟棒上面的刻槽，改用為平滑石英棒柱，使晶片可以疊放于燒結(jié)舟，不受槽距的影響，增加擺放量，底板上的花紋起到了防滑的目的。

本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)有，所述側(cè)支撐在舟頭兩側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置成圓弧狀。

說(shuō)明書中沒(méi)有描述的結(jié)構(gòu)屬于現(xiàn)有技術(shù)。所有的增加結(jié)構(gòu)均選用石英材料。

本方案的有益效果可根據(jù)對(duì)上述方案的敘述得知，一種雙杠保護(hù)燒結(jié)舟，包括有底舟棒、舟頭等，其特征在于：在所述底舟棒的下面設(shè)置底板，在所述舟頭的兩側(cè)還設(shè)置有側(cè)舟棒，在所述底舟棒、側(cè)舟棒之間設(shè)置兩根以上側(cè)支撐，在所述舟頭的下端設(shè)置矩形通氣孔。本發(fā)明的有益效果是：晶片可以疊放于燒結(jié)舟，不受槽距的影響，增加擺放量；增加舟體的牢固性，使燒結(jié)舟可以承受大于10KG晶片重量。提高了工作效率，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用。

附圖說(shuō)明

??圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖,圖2為圖1的左視結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為圖1的A-A剖視圖，圖4是花紋圖案。圖中：1是底板，2是側(cè)舟棒，3是底舟棒，4是舟頭，5是拉孔,6是側(cè)支撐，7是矩形通氣孔，8是花紋。

具體實(shí)施方式

?下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，通過(guò)附圖可以看出，一種雙杠保護(hù)燒結(jié)舟，包括有底舟棒3、舟頭4等，在底舟棒3的下面設(shè)置底板1，在底板1上設(shè)置花紋8，在舟頭4的兩側(cè)還設(shè)置有側(cè)舟棒2，在底舟棒3、側(cè)舟棒2之間設(shè)置兩根以上側(cè)支撐6，本實(shí)施例在兩側(cè)各設(shè)置兩根側(cè)支撐6。在舟頭4的下端設(shè)置矩形通氣孔7。側(cè)支撐6在舟頭4兩側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置成圓弧狀。

當(dāng)然，上述說(shuō)明并非對(duì)本發(fā)明的限制，本發(fā)明也不僅限于上述舉例，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的實(shí)質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、添加或替換，也屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。