[發明專利]一種鍍鎳液配制裝置

無效

• 申請號: 201310531294.6
• 申請日: 2013-11-01
• 公開（公告）號: CN103551063A
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發明（設計）人: 郭城;呂明;徐明星;郭英云;紀大鵬;趙海玲
• 申請（專利權）人: 山東科芯電子有限公司
• 主分類號: B01F1/00
• 分類號: B01F1/00;B01F5/10;C23C18/32
• 代理公司: 濟南日新專利代理事務所 37224
• 代理人: 李茜

技術領域

本發明涉及的是半導體電子元器件制造技術領域，尤其是涉及一種鍍鎳液配制裝置的改進。

背景技術

半導體晶片的生產工藝需要在半導體晶片上進行化學鍍鎳，化學鍍鎳的液體需根據產量隨時進行鍍鎳液配制，其溶質為鎳組，溶劑為純水，需按照一定配比混合攪拌均勻，供生產線使用，因其鍍鎳液用量大，其配制容器的容積大小及攪拌設備成為生產能否量產的影響因素，其缺點如下：現有配制容器的容積小；現有裝置配制頻次較高，影響生產效率；現有鍍鎳液配制裝置需人工攪拌均勻，勞累度及均勻性影響較大；現有鍍鎳液配制后需盛放至小容器使用，使用不方便；不能連續供給，如供應不及時，將制約產量，影響生產效率。這是現有技術的不足之處。

發明內容

本發明的目的在于，克服現有技術的不足，提供了一種結構簡單、能夠不間斷供給鍍鎳液的一種鍍鎳液配制裝置。

為解決上述技術問題，本發明的技術方案為：一種鍍鎳液配制裝置，包括有配液桶、鎳組投料口、進水管路、儲液桶等，其特征在于：在所述配液桶上設置有配液循環泵，在所述儲液桶上設置有儲液循環泵、鍍鎳液輸出管路，在所述配液桶、儲液桶上還設置有抽離泵。本裝置能夠為生產線連續供應鍍鎳液體，滿足了生產需求，提高了產量。利用配液循環泵進行配液定時攪拌，其攪拌效果完全滿足工藝要求；利用抽離泵將攪拌好的鍍鎳液抽至儲液桶內，并通過儲液循環泵進行不間歇循環防止靜置沉淀，同時儲液循環泵可將鍍鎳液輸送至產線終端，提高鍍鎳液輸送效率。

本發明的進一步改進有，所述抽離泵液體的輸入口設置在所述配液桶的底部，所述抽離泵液體的輸出口設置在所述儲液桶上部。

本發明的進一步改進還有，所述配液循環泵通過兩條管道分別連接在所述配液桶的底部和上部。

本發明的進一步改進還有，所述儲液循環泵通過兩條管道分別連接在所述儲液桶的底部和所述鍍鎳液輸出管路上。

本發明的進一步改進還有，在所述鍍鎳液輸出管路上設置閥門。

說明書中沒有描述的結構屬于現有技術。

本方案的有益效果可根據對上述方案的敘述得知，一種鍍鎳液配制裝置，包括有配液桶、鎳組投料口、進水管路、儲液桶等，其特征在于：在所述配液桶上設置有配液循環泵，在所述儲液桶上設置有儲液循環泵、鍍鎳液輸出管路，在所述配液桶、儲液桶上還設置有抽離泵。本發明的有益效果是：該裝置利用3個電動機械泵實現了鍍鎳液配制、儲存及輸送的自動化，極大的提高了生產效率；使用了大容積配液及儲液桶，增加了鍍鎳液的配制量，提高現場效率。且結構簡單實用。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖。圖中：1是配液桶，2是儲液桶，3是配液循環泵，4是抽離泵，5是儲液循環泵,6是鍍鎳液輸出管路，7是鎳組投料口，8是閥門，9是進水管路。

具體實施方式

???下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步詳細說明。

下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步詳細說明，通過附圖可以看出，一種鍍鎳液配制裝置，包括有配液桶1、鎳組投料口7、進水管路9、儲液桶等2，在配液桶1上設置有配液循環泵3，在儲液桶1上設置有儲液循環泵5、鍍鎳液輸出管路6，在配液桶1、儲液桶2上還設置有抽離泵4。抽離泵4液體的輸入口設置在配液桶1的底部，抽離泵4液體的輸出口設置在儲液桶2上部。配液循環泵3通過兩條管道分別連接在配液桶1的底部和上部。儲液循環泵5通過兩條管道分別連接在儲液桶2的底部和鍍鎳液輸出管路6上。在鍍鎳液輸出管路6上設置閥門8。?

當然，上述說明并非對本發明的限制，本發明也不僅限于上述舉例，本技術領域的普通技術人員在本發明的實質范圍內所做出的變化、改型、添加或替換，也屬于本發明的保護范圍。