[發(fā)明專利]涂膠噴嘴分布裝置和方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310526298.5
• 申請(qǐng)日: 2013-10-30
• 公開（公告）號(hào): CN104597714A
• 公開（公告）日: 2015-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王陽
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/16
• 分類號(hào): G03F7/16
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體勻膠顯影設(shè)備中涂膠噴嘴的技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種涂膠噴嘴分布裝置和方法。

背景技術(shù)

目前，半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)過程中，為了達(dá)到工藝要求，需要在同一個(gè)單元中使用不同種類的光刻膠，這樣在有限的空間內(nèi)會(huì)集合多個(gè)膠嘴和其所攜帶的管路系統(tǒng)。在不同膠嘴工作過程中，膠嘴和其所連接的膠管在移動(dòng)中會(huì)合其他膠嘴和膠管發(fā)生干擾，會(huì)形成系統(tǒng)的顆粒增多和不穩(wěn)定，影響生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種涂膠噴嘴分布裝置和方法。該裝置在多個(gè)噴嘴更換時(shí)避免由于膠嘴和其攜帶的膠管在使用中互相干擾。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種涂膠噴嘴分布裝置，包括噴嘴系統(tǒng)、噴嘴拾取裝置、膠杯及涂膠平臺(tái)，其中噴嘴系統(tǒng)、噴嘴拾取裝置及膠杯均設(shè)置于涂膠平臺(tái)上，所述噴嘴系統(tǒng)和噴嘴拾取裝置分別設(shè)置于膠杯的相鄰兩側(cè)，所述噴嘴系統(tǒng)中的各涂膠噴嘴通過噴嘴拾取裝置沿通過膠杯圓心的直線上運(yùn)動(dòng)。

所述噴嘴系統(tǒng)包括多個(gè)涂膠噴嘴和膠管，所述膠杯的一側(cè)設(shè)有托架，多個(gè)涂膠噴嘴依次排列于托架上、并各涂膠噴嘴分別與一個(gè)膠管連接，各膠管分別分布于通過膠杯圓心的各直線上。

所述噴嘴拾取裝置包括氣爪、電缸I及電缸II，其中電缸II連接于涂膠平臺(tái)上，所述電缸I連接于電缸II的輸出端，電缸I的輸出方向與電缸II的輸出方向垂直，所述氣爪連接在電缸I的輸出端、并與涂膠噴嘴相對(duì)應(yīng)。

多個(gè)涂膠噴嘴在同一單元內(nèi)使用時(shí)，與各涂膠噴嘴連接的膠管呈膠杯圓心的放射狀分布，各涂膠噴嘴和其所連接的膠管通過噴嘴拾取裝置驅(qū)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)軌跡在通過膠杯圓心的放射線上，形成涂膠路線。

所述噴嘴拾取裝置上的氣爪拾取涂膠噴嘴，通過電缸I和電缸II的運(yùn)動(dòng)控制使涂膠噴嘴沿著通過膠杯圓心的放射線上運(yùn)動(dòng)。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是：

本發(fā)明通過使噴嘴和其所連接的管路以相對(duì)于膠杯中心的放射狀分布方式和噴嘴拾取裝置通過直角坐標(biāo)系的沿著這個(gè)通過膠杯圓心的放射線運(yùn)動(dòng)來解決。可以做到多路膠嘴互不干擾，使得系統(tǒng)穩(wěn)定。

附圖說明

圖1為本發(fā)明中涂膠噴嘴分布裝置的立體示意圖；

圖2為本發(fā)明中涂膠噴嘴分布裝置的俯視圖；

圖3為本發(fā)明中噴嘴拾取裝置拾取膠嘴的立體示意圖；

圖4為本發(fā)明中噴嘴拾取裝置拾取膠嘴的主視圖。

其中：1為膠嘴，2為膠管，3為托架，4為膠杯，5為氣爪，6為電缸I，7為電缸II。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。

如圖1-2所示，本發(fā)明包括噴嘴系統(tǒng)、噴嘴拾取裝置、膠杯4及涂膠平臺(tái)8，其中噴嘴系統(tǒng)、噴嘴拾取裝置及膠杯4均設(shè)置于涂膠平臺(tái)8上，所述噴嘴系統(tǒng)和噴嘴拾取裝置分別設(shè)置于膠杯4的相鄰兩側(cè)，所述噴嘴系統(tǒng)中的涂膠噴嘴1通過噴嘴拾取裝置沿通過膠杯4圓心的直線上運(yùn)動(dòng)。

所述噴嘴系統(tǒng)包括多個(gè)涂膠噴嘴1和膠管2，所述膠杯4的一側(cè)設(shè)有托架3，多個(gè)涂膠噴嘴1依次排列于托架3上、并各涂膠噴嘴1分別與一個(gè)膠管2連接，各膠管2分別分布于通過膠杯4圓心的各直線上，形成放射狀分布。涂膠噴嘴1相對(duì)于噴嘴拾取裝置呈直線排列、并靠近膠杯4，膠管2在朝向相反方向。

所述噴嘴拾取裝置包括氣爪5、電缸I6及電缸II7，其中電缸II7設(shè)置于涂膠平臺(tái)8上、并輸出方向與多個(gè)涂膠噴嘴1的排列方向垂直。所述電缸I6連接于電缸II7的輸出端，電缸I6的輸出方向與電缸II7的輸出方向垂直，所述氣爪5連接在電缸I6的輸出端、并與涂膠噴嘴1相對(duì)應(yīng)。氣爪5由電缸I6帶動(dòng)相對(duì)于涂膠噴嘴1排列方向平行直線運(yùn)動(dòng)，電缸I6由電缸II7帶動(dòng)相對(duì)于涂膠噴嘴1排列方向垂直直線運(yùn)動(dòng)，氣爪5在電缸I6和電缸II7的共同作用下選取所需涂膠噴嘴1。噴嘴拾取裝置通過電缸I6和電缸II7形成的直角坐標(biāo)系，使涂膠噴嘴1形成特定的通過膠杯4圓心的直線運(yùn)動(dòng)軌跡，控制涂膠噴嘴1運(yùn)動(dòng)，使得膠管2跟隨涂膠噴嘴1在這條直線上運(yùn)動(dòng)。

如圖3、圖4所示，本發(fā)明涂膠噴嘴的分布方法，多個(gè)涂膠噴嘴1在同一單元內(nèi)使用時(shí)，與各涂膠噴嘴1連接的膠管2呈膠杯4圓心的放射狀分布，各涂膠噴嘴1和其所連接的膠管2的運(yùn)動(dòng)軌跡在通過膠杯4圓心的放射線上運(yùn)動(dòng)，形成涂膠路線。

噴嘴拾取裝置拾取涂膠噴嘴1，帶動(dòng)涂膠噴嘴1運(yùn)動(dòng)到膠杯4中心涂膠。噴嘴拾取裝置上的氣爪5拾取涂膠噴嘴1，通過電缸I6和電缸II7的運(yùn)動(dòng)控制使涂膠噴嘴1沿著通過膠杯4圓心的放射線上運(yùn)動(dòng)，也就是涂膠噴嘴1和其所連接的膠管2所通過的圓心放射線，通過這個(gè)軌跡運(yùn)動(dòng)，使得整個(gè)系統(tǒng)各個(gè)涂膠噴嘴1和其所攜帶的膠管2互不干擾。