[發明專利]雙衍射級次Offner成像光譜儀

無效

• 申請號: 201310521220.4
• 申請日: 2013-10-29
• 公開（公告）號: CN103592024A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 方偉;張浩;葉新
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28;G01J3/02
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 張偉

1.雙衍射級次Offner成像光譜儀，該光譜儀包括：Offner凸面光柵光譜成像系統和雙波段面陣光電探測器，其特征在于，將現有Offner凸面光柵光譜成像系統中的二級及二級以上衍射級次截止的濾光片替換成三級及三級以上衍射級次截止的濾光片；雙波段面陣光電探測器由由兩種不同響應波段的光敏元同軸疊層或者平行隔行制作而成；所述Offner凸面光柵光譜成像系統中的光柵同時使用一級和二級衍射光作為有效工作級次，雙波段面陣光電探測器同時、分別接收對應的一級和二級衍射光。

2.如權利要求1所述的雙衍射級次Offner成像光譜儀，其特征在于，所述同軸疊層光敏元結構的雙波段面陣光電探測器上層光敏元對短波敏感，下層光敏元對長波敏感，但上層光敏元對下層光敏元形成短波截止濾光片效應。

3.如權利要求2所述的雙衍射級次Offner成像光譜儀，其特征在于，上層光敏元的長波截止波長對應于光柵的搭接波長；上層光敏元接收二級光譜，對一級光譜透明；下層光敏元接收一級光譜。

4.如權利要求1所述的雙衍射級次Offner成像光譜儀，其特征在于，所述平行隔行光敏元結構的雙波段面陣光電探測器對一級和二級衍射分別同時響應；兩個波段以光柵的搭接波長為波段分界點；兩個波段光敏元分別對應一級和二級衍射波長區間，具有相同響應波段的各獨立像元行垂直于色散方向。

5.如權利要求4所述的雙衍射級次Offner成像光譜儀，其特征在于，當二級衍射的長波端波長超出搭接波長被一級衍射的短波端探測時，面陣光電探測器對應的區域只需鍍制一級衍射帶通濾光片。

6.根據權利要求1所述的雙衍射級次Offner成像光譜儀，其特征在于，所述的Offner凸面光柵光譜成像系統中的光柵為鋸齒槽型的凸面閃耀光柵，使用電子束光刻、離子束刻蝕、激光束直寫或全息法制作。