[發明專利]一種基于光致發光的太陽能硅片分選系統及方法有效
| 申請號: | 201310520548.4 | 申請日: | 2013-10-29 |
| 公開(公告)號: | CN103521463A | 公開(公告)日: | 2014-01-22 |
| 發明(設計)人: | 張愛平;王欣 | 申請(專利權)人: | 高佳太陽能股份有限公司 |
| 主分類號: | B07C5/34 | 分類號: | B07C5/34;B07C5/36;G01R31/26 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 214174 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 基于 光致發光 太陽能 硅片 分選 系統 方法 | ||
1.一種基于光致發光的太陽能硅片分選系統,其特征在于,包括激光發射裝置、數據采集裝置及上位機;
所述激光發射裝置與上位機電性連接,用于根據上位機輸出的指令,向待分選硅片的表面照射激光;
所述數據采集裝置與上位機電性連接,用于采集所述待分選硅片反饋的熒光信號,輸出給上位機;
所述上位機與激光發射裝置、數據采集裝置電性連接,用于對所述熒光信號進行分析,獲取所述待分選硅片的位錯密度信息和雜質含量信息,按照預設等級劃分規則,確定該待分選硅片的等級,并根據多晶硅鑄錠中硅片的位錯密度和雜質含量的變化,分析多晶鑄錠過程中的不足。
2.根據權利要求1所述的基于光致發光的太陽能硅片分選系統,其特征在于,所述激光發射裝置選用激光器。
3.根據權利要求1所述的基于光致發光的太陽能硅片分選系統,其特征在于,所述數據采集裝置選用照相機。
4.根據權利要求1至3之一所述的基于光致發光的太陽能硅片分選系統,其特征在于,所述上位機選用計算機。
5.一種基于光致發光的太陽能硅片分選方法,其特征在于,包括如下步驟:
A、根據上位機輸出的指令,激光發射裝置向待分選硅片表面照射激光;
B、數據采集裝置采集所述待分選硅片反饋的熒光信號,輸出給上位機;
C、上位機對所述熒光信號進行分析,獲取所述待分選硅片的位錯密度信息和雜質含量信息,按照預設等級劃分規則,確定該待分選硅片的等級,并根據多晶硅鑄錠中硅片的位錯密度和雜質含量的變化,分析多晶鑄錠過程中的不足。
6.根據權利要求5所述的基于光致發光的太陽能硅片分選方法,其特征在于,所述步驟C具體包括:
上位機對所述熒光信號進行分析,獲取所述待分選硅片的位錯密度信息和雜質含量信息,按照預設等級劃分規則,確定該待分選硅片是優等硅片、正常硅片或異常硅片,控制檢片機將其送入對應的檢片盒,并根據多晶硅鑄錠中硅片的位錯密度和雜質含量的變化,分析多晶鑄錠過程中的不足。
7.根據權利要求5或6任一項所述的基于光致發光的太陽能硅片分選方法,其特征在于,所述激光發射裝置選用激光器;所述數據采集裝置選用照相機;所述上位機選用計算機。
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