[發明專利]一種檢測三氟化氮的裝置和方法無效

申請號：	201310519856.5	申請日：	2013-10-28
公開（公告）號：	CN103575918A	公開（公告）日：	2014-02-12
發明（設計）人：	楊震夏;杜海波;田亮亮;王祥濱;王國慶;苗英俊;劉耀中;張學謙;陳長江;牛巧云;王亮	申請（專利權）人：	邯鄲派瑞節能控制技術有限公司
主分類號：	G01N35/00	分類號：	G01N35/00;G01N1/28
代理公司：	北京華夏正合知識產權代理事務所(普通合伙) 11017	代理人：	韓登營;張煥亮
地址：	056000***	國省代碼：	河北;13
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	一種檢測氟化裝置方法
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【說明書】：

技術領域

本發明屬于三氟化氮檢測領域，特別涉及一種檢測三氟化氮的裝置和方法。?

背景技術

三氟化氮是一種工業特種氣體，主要用作推進劑（火箭）、氟化劑、電子氣、等離子蝕刻及用于摻雜、激光、光導纖維等。尤其是作為一種優良的等離子蝕刻氣體，在當今快速發展的微電子領域被廣泛使用。同時三氟化氮又是一種毒性物質，具有強氧化性，與還原劑能發生強烈反應，引起燃燒爆炸。因此，三氟化氮的泄露分析檢測既是生產安全的需要，也是環境保護的需要。目前，催化熱裂解+電化學法是一個很好的分析三氟化氮的方法，此方法利用催化加高溫的辦法使三氟化氮裂解，再用電化學傳感器檢測檢測裂解產物的濃度，而后計算出三氟化氮的濃度。采用該熱裂解+電化學法的分析儀器最突出的優點是具有優越的長期穩定性和環境適應性。但是，目前應用此原理研發的國外的三氟化氮分析儀器（國內無此類儀器），在熱裂解中無一例外的都使用了催化劑，這法雖然實現了三氟化氮在較低溫度下的裂解，但因使用了催化劑，分解產物很復雜，后面傳感器所需要的目標檢測氣——二氧化氮含量較少，而干擾氣體卻很多，這就最終使得儀器的總體性能不夠好，檢測結果不理想。?

發明內容

為了克服現此類儀器存在的的缺點，提高儀器的性能，本發明提供一種檢測三氟化氮的裝置和方法，所述產生的檢測目標氣體濃度高，干擾氣少，且不需要使用催化劑，可操作性強，分析精度高，檢測限低，使用壽命長。?

一種檢測三氟化氮的裝置包括高溫裂解爐、轉化管、二氧化氮傳感器氣室、抽氣泵和專用電路。所述的高溫裂解爐、轉化管、二氧化氮傳感器和抽氣泵依次通過管道連接；所述的轉化管內有轉化劑，所述的二氧化氮傳感器氣室內有二氧化氮傳感器。?

所述檢測三氟化氮的裝置還包括選擇性過濾器，選擇性過濾器固定在高溫裂解爐和轉化管之間。選擇性過濾器將高溫裂解爐輸出氣體中的結露水、灰塵及干擾物除去，為二氧化氮傳感器的檢測創造良好的條件。在環境條件很好的?情況下，也可省去過濾器。?

一種檢測三氟化氮的方法，包括下列步驟：（1）、將混有三氟化氮的空氣通入到高溫裂解爐中，進行裂解反應，產生的氣體從高溫裂解爐的出氣口輸出到高溫裂解爐和選擇性過濾器之間的管路中冷卻，進入選擇性過濾器；（2）、轉化管內的轉化劑將一氧化氮轉化為二氧化氮，提高二次產物中二氧化氮的濃度；（3）、二氧化氮傳感器對轉化劑中輸出的氣體中的二氧化氮成分進行檢測，輸出電信號，檢測完的氣體由抽氣泵抽走；（4）、根據所測得的電信號和氣路的進氣量即可計算出三氟化氮的濃度。?

本發明具有下列優點：1）、檢測限低，三氟化氮的檢測限可達0.05ppm;2.精度高，可達5%：3.使用壽命長，由于省去了催化劑，不存在其他儀器因催化的存在影響壽命，傳感器也因為無干擾器存在而更簡單可靠；4.可操作性強，即可以通過調節裂解爐的溫度，實現三氟化氮不同量程的檢測，而國外的同類儀器是無法實現這一功能的。（后面的傳感器檢測到的目標氣體）2）、干擾產物減小了，對目標的交叉干擾降低。?

附圖說明?

下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。?

（圖1為本發明示意圖。）?

具體實施方式

如圖1所示，一種檢測三氟化氮的裝置，包括高溫裂解爐、選擇性過濾器、轉化管、二氧化氮傳感器氣室和抽氣泵，所述的高溫裂解爐、選擇性過濾器、轉化管、二氧化氮傳感器和抽氣泵依次通過管道連接；所述的轉化管內有轉化劑，所述的二氧化氮傳感器氣室內有二氧化氮傳感器。?

所述轉化劑的主要成分可為MnO2、FeCl3和KMnO4等等氧化劑。?

所述高溫裂解爐內有溫度傳感器。?

所述高溫裂解爐的工作溫度為600～1100℃。?

所述高溫裂解爐的工作氣體流量為5mL/min～500mL/min。?

所述二氧化氮傳感器的量程為1ppm～200ppm。?

或二氧化氮傳感器的量程為0.1～20ppm。?

所述檢測三氟化氮的裝置還包括：?