[發(fā)明專利]一種多晶硅太陽電池濕法制絨方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310514998.2
• 申請(qǐng)日: 2013-10-28
• 公開（公告）號(hào): CN103541017A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賈河順;姜言森;方亮;任現(xiàn)坤;徐振華;張春艷;馬繼磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東力諾太陽能電力股份有限公司
• 主分類號(hào): C30B33/10
• 分類號(hào): C30B33/10;H01L31/18
• 代理公司: 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 37205
• 代理人: 宋玉霞

1.一種多晶硅太陽電池濕法制絨方法，包括以下步驟：

步驟一、多晶硅酸式制絨；

步驟二、水洗；

步驟三、多晶硅堿式制絨；

步驟四、清洗。

2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅太陽電池濕法制絨方法，其特征在于，多晶硅在HF酸和HNO₃的混合液中進(jìn)行初制絨，用水清洗后，在NaOH混合液中進(jìn)行二次制絨，制絨后的多晶硅經(jīng)過HCl溶液清洗。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種多晶硅太陽電池濕法制絨方法，其特征在于，步驟一的HF酸和HNO₃按照1:100-100:1的質(zhì)量比例進(jìn)行混合，制絨時(shí)間0.5-5分鐘。

4.?根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種多晶硅太陽電池濕法制絨方法，其特征在于，步驟一的HF酸和HNO₃按照1：5的質(zhì)量比例進(jìn)行混合，制絨時(shí)間2分鐘。

5.?根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種多晶硅太陽電池濕法制絨方法，其特征在于，步驟二使用水清洗硅片1-3分鐘。

6.?根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種多晶硅太陽電池濕法制絨方法，其特征在于，步驟三的NaOH混合液中NaOH和水的質(zhì)量比為1:1000-1:3，制絨時(shí)間3-50分鐘。

7.?根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種多晶硅太陽電池濕法制絨方法，其特征在于，步驟三的NaOH混合液中NaOH和水的質(zhì)量比為1:50，制絨時(shí)間20分鐘。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種多晶硅太陽電池濕法制絨方法，其特征在于，步驟四的HCl溶液中HCl和水的質(zhì)量比為1:1000-1:10，清洗時(shí)間10-300秒。

9.?根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種多晶硅太陽電池濕法制絨方法，其特征在于，步驟四的HCl溶液中HCl和水的質(zhì)量比為1:100，清洗時(shí)間30秒。