[發(fā)明專利]可工位切換的精密定位臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310513628.7
• 申請(qǐng)日: 2013-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN104570614A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁曉葉;江旭初;魏龍飛;王鑫鑫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：包括工位切換裝置，所述工位切換裝置包括承載臺(tái)、在所述承載臺(tái)之上的活動(dòng)夾緊定位裝置和固定輔助夾緊定位裝置，用于實(shí)現(xiàn)承載對(duì)象在工位切換時(shí)的精確定位。

2.如權(quán)利要求1所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于，所述活動(dòng)夾緊定位裝置包括：X方向上工位來回切換驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和Y方向上夾緊機(jī)構(gòu)。

3.如權(quán)利要求1所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于，所述固定輔助夾緊定位裝置包括：X方向上若干工位限位銷和Y方向上限位滾筒。

4.如權(quán)利要求2所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：所述X方向上工位來回驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，至少為2個(gè)，一個(gè)相對(duì)承載對(duì)象位于X正方向上，另一個(gè)相對(duì)承載對(duì)象位于X負(fù)方向上。

5.如權(quán)利要求3所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：所述X方向上若干限位銷設(shè)在所述承載對(duì)象版的移動(dòng)行程的兩端，且所述X方向上若干限位銷的位置與所述承載對(duì)象的工位相匹配。

6.如權(quán)利要求3所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：所述Y方向上限位滾筒為凸輪隨動(dòng)器，所述凸輪隨動(dòng)器的位置相對(duì)所述承載臺(tái)固定，且包括一個(gè)沿自身軸向旋轉(zhuǎn)的滾子，所述滾子的旋轉(zhuǎn)軸向垂直于所述承載臺(tái)，所述滾子與所述承載對(duì)象相切。

7.如權(quán)利要求2所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：所述X方向上工位來回切換驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和Y方向上夾緊機(jī)構(gòu)分別通過設(shè)其末端的緩沖塊與所述承載對(duì)象接觸，所述緩沖塊的材料硬度比所述承載對(duì)象小。

8.如權(quán)利要求1所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：所述承載臺(tái)與所述承載對(duì)象之間設(shè)有氣浮軸承。

9.如權(quán)利要求8所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：所述氣浮軸承包括正壓區(qū)域與真空區(qū)域，所述正壓區(qū)域可用于充正壓為所述承載臺(tái)與所述承載對(duì)象之間提供無摩擦的氣浮支撐，所述真空區(qū)域用以抽真空使得所述承載對(duì)象吸附在承載臺(tái)上。

10.如權(quán)利要求8所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：所述氣浮軸承包括若干氣浮區(qū)域，每個(gè)所述氣浮區(qū)域包括一個(gè)正壓區(qū)域與一個(gè)真空區(qū)域，每個(gè)所述氣浮區(qū)域的正壓區(qū)域與所述真空區(qū)域相鄰設(shè)置。

11.如權(quán)利要求8所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：所述氣浮軸承包括若干氣浮區(qū)域，每個(gè)所述氣浮區(qū)域包括一個(gè)正壓區(qū)域環(huán)與一個(gè)真空區(qū)域環(huán)，每個(gè)所述氣浮區(qū)域的正壓區(qū)域環(huán)設(shè)在所述真空區(qū)域環(huán)的外側(cè)。

12.如權(quán)利要求9所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：所述正壓區(qū)域環(huán)與一個(gè)正壓控制閥連接，所述真空區(qū)域環(huán)與一個(gè)真空控制閥連接，所述真空控制閥用于對(duì)所述真空區(qū)域環(huán)進(jìn)行抽真空，當(dāng)所述承載對(duì)象相對(duì)所述承載臺(tái)移動(dòng)時(shí)，所述正壓控制閥打開對(duì)所述正壓區(qū)域環(huán)進(jìn)行充正壓；當(dāng)所述承載對(duì)象完成相對(duì)于所述承載臺(tái)的移動(dòng)后，所述正壓控制閥關(guān)閉。

13.如權(quán)利要求8所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：所述氣浮軸承固定設(shè)置在所述承載臺(tái)上。

14.如權(quán)利要求1至13任一所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：還包括底座、水平向微動(dòng)機(jī)構(gòu)、垂向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述工位切換機(jī)構(gòu)設(shè)在所述底座上，且通過所述水平向微動(dòng)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)所述工位切換機(jī)構(gòu)沿所述底座表面的移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)位置，所述水平向微動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述底座固定連接，所述底座設(shè)在所述垂向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上，且通過所述垂向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)所述底座的位置與傾斜度。

15.如權(quán)利要求14所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：所述工位切換機(jī)構(gòu)通過所述承載臺(tái)與所述底座接觸，所述承載臺(tái)與所述底座之間設(shè)有氣浮軸承，當(dāng)所述承載臺(tái)相對(duì)所述底座移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述氣浮軸承內(nèi)可用于充正壓為所述承載臺(tái)與所述底座之間提供無摩擦的氣浮支撐；當(dāng)所述承載臺(tái)完成相對(duì)于所述底座的移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)后，所述氣浮軸承用于抽真空使得所述承載臺(tái)吸附在所述底座上。

16.如權(quán)利要求14所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：所述承載臺(tái)與所述底座之間的氣浮軸承，固定設(shè)置在承載臺(tái)下或所述底座上。

17.如權(quán)利要求1所述的可工位切換的精密定位臺(tái)，其特征在于：所述承載對(duì)象是掩模版、硅片或者晶圓基底。