[發明專利]微機械結構

有效

• 申請號: 201310511795.8
• 申請日: 2013-10-25
• 公開（公告）號: CN103776437B
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: J·克拉森;R·舍本
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01C19/5712
• 分類號: G01C19/5712;B81B3/00;B81B7/02
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 郭毅

1.一種微機械結構(1)，其具有襯底(110)，所述襯底具有主延伸平面(100)，所述微機械機構用于探測繞垂直于所述主延伸平面(100)延伸的第一方向(101)的第一轉速并且用于探測繞平行于所述主延伸平面(100)延伸的第二方向(102)的第二轉速，其中，所述微機械結構(1)具有被驅動繞平行于所述第一方向(101)的旋轉軸線進行扭轉振動的扭轉振動元件(10)，其中，所述微機械結構(1)還具有用于探測所述第一轉速和第二轉速的轉速傳感器裝置(12)，其中，所述扭轉振動元件(10)在平行于所述主延伸平面(100)的平面中完全環繞所述轉速傳感器裝置(12)，其中，所述微機械結構(1)具有所述轉速傳感器裝置(12)在所述扭轉振動元件(10)處的至少一個第一連接件(31，31’)，其特征在于，所述微機械結構(1)具有所述轉速傳感器裝置(12)在所述襯底(110)處的至少一個第二連接件(32，32’)。

2.根據權利要求1所述的微機械結構(1)，其特征在于，所述轉速傳感器裝置(12)具有第一轉速傳感器元件(12’)和第二轉速傳感器元件(12”)，其中，所述微機械結構(1)配置用于通過扭轉振動元件的扭轉振動運動驅動所述第一轉速傳感器元件(12’)和所述第二轉速傳感器元件(12”)平行于驅動方向進行反向的驅動運動，其中，為了實現所述驅動運動，所述扭轉振動元件(10)借助于所述第一連接件(31)與所述第一轉速傳感器元件(12’)連接并且借助于另一第一連接件(31’)與所述第二轉速傳感器元件(12”)連接。

3.根據權利要求2所述的微機械結構(1)，其特征在于，所述第一連接件(31)具有第一彈簧(41)并且所述另一第一連接件(31’)具有第二彈簧(41’)，其中，所述第一彈簧(41)和所述第二彈簧(41’)分別沿平行于第一方向的方向并且沿垂直于所述轉速傳感器裝置(12)的驅動運動的方向具有相比于沿平行于所述轉速傳感器裝置(12)的驅動運動的方向更小的彈簧剛性。

4.根據權利要求2或3所述的微機械結構(1)，其特征在于，所述第一轉速傳感器元件(12’)借助于所述第二連接件(32)與所述襯底(110)連接，并且所述第二轉速傳感器元件(12”)借助于另一第二連接件(32’)與所述襯底(110)連接。

5.根據權利要求4所述的微機械結構(1)，其特征在于，所述第二連接件(32)具有第三彈簧(42)并且所述另一第二連接件(32’)具有第四彈簧(42’)，其中，所述第三彈簧(42)和所述第四彈簧(42’)分別沿平行于第一方向的方向并且沿垂直于所述轉速傳感器裝置(12)的驅動運動的方向具有相比于沿平行于所述轉速傳感器裝置(12)的驅動運動的方向更大的彈簧剛性。

6.根據權利要求2或3所述的微機械結構(1)，其特征在于，所述第一轉速傳感器元件(12’)具有第一驅動元件(14)和第一探測裝置(16)，并且所述第二轉速傳感器元件(12”)具有第二驅動元件(14’)和第二探測裝置(16’)。

7.根據權利要求6所述的微機械結構(1)，其特征在于，所述微機械結構(1)具有用于探測所述第一探測裝置(16)的偏移的第一探測機構(25，26，27)和用于探測所述第二探測裝置(16’)沿垂直于所述驅動方向的方向并且在平行于所述主延伸平面(100)的平面中的偏移的第二探測機構。

8.根據權利要求1至3之一所述的微機械結構(1)，其特征在于，所述微機械結構(1)除探測所述第一轉速和所述第二轉速以外還配置用于探測繞平行于所述主延伸平面(100)并且垂直于所述第二方向(102)延伸的第三方向(103)的第三轉速。

9.根據權利要求8所述的微機械結構(1)，其特征在于，所述微機械結構(1)具有用于探測平行于所述第一方向(101)的偏移并且用于探測所述第二轉速的第三探測機構(21，22)，并且所述微機械結構(1)具有用于探測平行于所述第一方向(101)的偏移并且用于探測所述第三轉速的第四探測機構(23，24)。