[發(fā)明專利]一種基于導(dǎo)電復(fù)合敏感材料的聲表面波甲醛氣體傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310508417.4
• 申請日: 2013-10-25
• 公開（公告）號: CN103604864A
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡佳;李臻;余琳;單志林;蘇志杰
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第三十八研究所
• 主分類號: G01N29/02
• 分類號: G01N29/02
• 代理公司: 安徽匯樸律師事務(wù)所 34116
• 代理人: 丁瑞瑞

1.一種基于復(fù)合敏感材料的聲表面波甲醛氣體傳感器，包括壓電基片(1)，叉指換能器(2)，導(dǎo)電復(fù)合敏感材料(3)，其特征在于：所述導(dǎo)電復(fù)合敏感材料(3)由導(dǎo)電顆粒(4)和絕緣材料(5)組成，絕緣材料(5)選擇性吸收/吸附甲醛氣體后體積會發(fā)生改變，改變導(dǎo)電復(fù)合敏感材料的體積，導(dǎo)致導(dǎo)電復(fù)合敏感材料(3)內(nèi)部的導(dǎo)電顆粒(4)之間的間距變化。

2.如權(quán)利要求1所述的一種基于復(fù)合敏感材料的聲表面波甲醛氣體傳感器，其特征在于：導(dǎo)電顆粒(4)不吸附甲醛氣體。

3.如權(quán)利要求1所述的一種基于復(fù)合敏感材料的聲表面波甲醛氣體傳感器，其特征在于：在導(dǎo)電復(fù)合敏感材料(3)內(nèi)，導(dǎo)電顆粒(4)和絕緣材料(5)是均勻分布，或者是不均勻分布，或者完全分離。

4.如權(quán)利要求1所述的一種基于復(fù)合敏感材料的聲表面波甲醛氣體傳感器，其特征在于：導(dǎo)電復(fù)合敏感材料(3)的形式是面狀的二維形式，或者是線狀的一維形式，或者是點(diǎn)狀的零維形式。

5.如權(quán)利要求1所述的一種基于復(fù)合敏感材料的聲表面波甲醛氣體傳感器，其特征在于：導(dǎo)電復(fù)合敏感材料(3)完全覆蓋壓電基片(1)，或者僅覆蓋兩叉指換能器(2)之間的壓電基片(1)表面，或者叉指換能器(2)以及兩叉指換能器(2)之間的壓電基片(1)表面。

6.如權(quán)利要求1所述的一種基于復(fù)合敏感材料的聲表面波甲醛氣體傳感器，其特征在于：導(dǎo)電復(fù)合敏感材料(3)與叉指換能器(2)之間增加一層薄的介質(zhì)層。

7.如權(quán)利要求6所述的一種基于復(fù)合敏感材料的聲表面波甲醛氣體傳感器，其特征在于：所述介質(zhì)層的介質(zhì)材料包括SiO2、SiN、ZnO、聚對二甲苯、聚酰亞胺中的一種或幾種。

8.如權(quán)利要求1所述的一種基于復(fù)合敏感材料的聲表面波甲醛氣體傳感器，其特征在于：采用的聲表面波模式包括瑞利波、LAMB波、樂甫波、漏波、水平剪切波中的一種或幾種。

9.如權(quán)利要求1所述的一種基于復(fù)合敏感材料的聲表面波甲醛氣體傳感器，其特征在于：叉指換能器(2)材料為金、銀、銅、鋁、鉻、鎳的任一種或者上述材料的合金。

10.如權(quán)利要求1所述的一種基于復(fù)合敏感材料的聲表面波甲醛氣體傳感器，其特征在于：所述絕緣材料(5)選用聚乙烯亞胺或環(huán)氧氯丙烷，所述導(dǎo)電顆粒(4)選擇炭黑、碳納米管、石墨烯、納米金的任一種。