[發(fā)明專利]多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間閾值電流的測試方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310508298.2
• 申請日: 2013-10-24
• 公開（公告）號: CN103529274B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王貞福;劉興勝
• 申請（專利權(quán)）人: 西安炬光科技股份有限公司
• 主分類號: G01R19/00
• 分類號: G01R19/00
• 代理公司: 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司61211
• 代理人: 胡樂

1.一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間閾值電流的測試方法，包括以下步驟：

（1）對多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光進(jìn)行快軸準(zhǔn)直和慢軸準(zhǔn)直；

（2）在快慢軸準(zhǔn)直鏡的后面放置顯微物鏡，用于半導(dǎo)體激光器多個發(fā)光單元在空間上放大，放大后的發(fā)光單元通過孔徑光闌將各個獨立的發(fā)光單元分離出來，調(diào)節(jié)孔徑光闌的位置以及通光孔徑只允許一個發(fā)光單元的光通過；

（3）利用光電探測器對該發(fā)光單元進(jìn)行功率測試，通過改變驅(qū)動電流的大小，獲得該發(fā)光單元相應(yīng)的輸出光功率；

（4）采用直線擬合法得到該發(fā)光單元的閾值電流；

（5）保持多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器位置不動，通過移動孔徑光闌，按照步驟（3）、（4）依次得到每個發(fā)光單元的閾值電流；

（6）最后得到所有發(fā)光單元的閾值電流，形成空間閾值電流信息圖。

2.一種測試多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器封裝產(chǎn)生的應(yīng)力的方法，其特征在于：基于權(quán)利要求1所述的多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間閾值電流的測試方法，當(dāng)發(fā)光單元受到壓應(yīng)力的時候，閾值電流減少，當(dāng)發(fā)光單元受到張應(yīng)力的時候，閾值電流增大；根據(jù)得到的空間閾值電流信息圖，定性地得出半導(dǎo)體激光器封裝所產(chǎn)生的應(yīng)力分布情況。

3.一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間閾值電流測試裝置，包括依次設(shè)置的多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器、快慢軸準(zhǔn)直透鏡組件、具有放大作用的顯微物鏡、位置可調(diào)的孔徑光闌、以及光功率探測器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間閾值電流測試裝置，其特征在于：孔徑光闌采用高熱導(dǎo)率的金屬材料制成，在孔徑光闌的表面涂覆吸光材料；所述的高熱導(dǎo)熱率金屬材料為銅、金、銅鎢、或者銅金剛石復(fù)合材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間閾值電流測試裝置，其特征在于：在孔徑光闌處設(shè)置風(fēng)扇進(jìn)行風(fēng)冷。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間閾值電流測試裝置，其特征在于：在孔徑光闌上設(shè)置微通道水路或者宏通道水路進(jìn)行散熱。