[發(fā)明專(zhuān)利]半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的清洗液

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310508105.3
• 申請(qǐng)日: 2013-10-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103616805A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫霞
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 青島華仁技術(shù)孵化器有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/42
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/42
• 代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種新型的感光膜清洗液，其特征在于：包括季戊四醇、氫氧化鉀、有機(jī)胺、防腐蝕劑和溶劑。?

2.如權(quán)利要求1所述的感光膜清洗液，其特征在于：季戊四醇的質(zhì)量百分比為0.1-15％，氫氧化鉀的質(zhì)量百分比為0.1-10％，有機(jī)胺的質(zhì)量百分比為0.5-30％，防腐蝕劑0.5-5％，溶劑為余量，各組分質(zhì)量百分比之和為100％。?

3.如權(quán)利要求1或2所述的感光膜清洗液，其特征在于：季戊四醇的質(zhì)量百分比為10％，氫氧化鉀的質(zhì)量百分比為8％，有機(jī)胺的質(zhì)量百分比為25％，防腐蝕劑3％，溶劑為54％。?

4.如權(quán)利要求1至3所述的感光膜清洗液，其特征在于：所述機(jī)胺為選自包括單乙醇胺、異丙醇胺、氨基乙氧基乙醇、n-甲基乙醇胺、二甲基乙醇胺、二乙基乙醇胺、2-氨乙基氨基乙醇、氨乙基哌嗪、氨丙基哌嗪、1-(2-羥乙基)哌嗪、1-氨基-4-甲基哌嗪、2-甲基哌嗪、1-甲基哌嗪、1-芐基哌嗪、2-苯基哌嗪、1-氨乙基哌啶、1-氨基哌啶和1-氨甲基哌啶的組的至少一種化合物。?

5.如權(quán)利要求1至4所述的感光膜清洗液，其特征在于：所述溶劑為亞砜、砜、咪唑烷酮、咪唑啉酮、醇、醚、酰胺中的一種或多種。?

6.如權(quán)利要求1至5所述的感光膜清洗液，其特征在于：所述的亞砜為二甲基亞砜；所述的砜為環(huán)丁砜；所述的咪唑烷酮為1，3-二甲基-2-咪唑烷酮；所述的咪唑啉酮為1，3-二甲基-2-咪唑啉酮；所述的酰胺為二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺；所述的醇為丙二醇、二乙二醇；醚為乙二醇醚或丙二醇醚。?

7.如權(quán)利要求1至6所述的抗蝕膜剝離劑，其特征在于：所述防腐蝕劑由式2所示的O’，O’-二苯基二硫代磷酸-N，N-二乙胺和式1所示的ω，ω′-雙(苯并咪唑-2-基)烷烴構(gòu)成，其中，n=8，兩者的質(zhì)量為1：1～1：2。?

。

8.如權(quán)利要求1至7所述的抗蝕膜剝離劑，其特征在于：所述O’，O’-二苯基二硫代磷酸-N，N-二乙胺的制備方法具體為：?

將22.2g五硫化二磷(0.1mol)，37.6g苯酚(0.4mol)加入到250mL三口燒瓶中，加入70mL甲苯作溶劑；邊攪拌邊逐漸將溫度升高到100℃左右反應(yīng)45min；再升溫直到回流，回流3h，反應(yīng)過(guò)程中固體逐漸消失；溶液稍冷，加入少量活性炭煮沸脫色，趁熱過(guò)濾，濾液冷卻至室溫；將所得濾液轉(zhuǎn)移至燒杯中，水浴冷卻并在攪拌下逐滴滴加22mL二乙胺(0.2mol)，反應(yīng)體系放出大量的熱，液體顏色逐漸變?yōu)殚偌t色，用玻璃棒快速攪拌，有沉淀產(chǎn)生，室溫下靜止放置一夜；減壓過(guò)濾，用甲苯洗滌至白色，產(chǎn)品為白色針狀晶體；甲苯重結(jié)晶，減壓過(guò)濾，真空干燥，得白色晶體，即得。?

9.如權(quán)利要求1至8所述的抗蝕膜剝離劑，其特征在于：所述ω，ω′-雙(苯并咪唑-2-基)烷烴的制備方法具體為：?

分別稱(chēng)取0.11mol鄰苯二胺和0.05mol脂肪二酸，于研缽中充分研磨使其混合均勻，轉(zhuǎn)移至三頸燒瓶中。加入混酸，通氮，機(jī)械攪拌下加熱回流反應(yīng)。TLC跟蹤監(jiān)測(cè)至反應(yīng)結(jié)束，約10h，倒入250mL燒杯中，靜置冷卻，用濃氨水調(diào)節(jié)pH=7。于4℃下靜置過(guò)夜，抽濾干燥，所得粗品用甲醇/水重結(jié)晶，得純品。?