[發明專利]一種用于光電探測器沖激響應測量的裝置及方法有效
| 申請號： | 201310507967.4 | 申請日： | 2013-10-24 |
| 公開（公告）號： | CN103558433A | 公開（公告）日： | 2014-02-05 |
| 發明（設計）人： | 龔鵬偉;謝文;馬紅梅;楊春濤;姜河;諶貝 | 申請（專利權）人： | 北京無線電計量測試研究所 |
| 主分類號： | G01R13/00 | 分類號： | G01R13/00 |
| 代理公司： | 北京正理專利代理有限公司 11257 | 代理人： | 張雪梅 |
| 地址： | 100854 北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 光電 探測器 沖激 響應 測量 裝置 方法 | ||
1.一種用于光電探測器沖激響應測量的裝置，其特征在于：該裝置包括
用于產生第一路光和第二路光的多路飛秒脈沖激光產生器；
用于輸出所述第一路光的激勵信號輸出端；
用于輸入經第一路光激勵產生的超快電脈沖信號的輸入端；
與所述輸入端同軸連接的同軸到共面轉換器；
與所述同軸到共面轉換器連接的共面波導；
沿所述第二路光的傳輸路徑依次設置的電位移平臺和光導探針，所述光導探針相對于所述共面波導的位置被設置為使得通過電位移平臺的第二路光激勵所述光導探針在所述共面波導的作用下產生光敏電流；和
鎖相放大器，用于與電位移平臺的逐步位移相對應地采樣所述光敏電流得到采樣信號。
2.根據權利要求1中所述的一種用于光電探測器沖激響應測量的裝置，其特征在于：該測量裝置還包括斬波器，所述斬波器將第一路光調制后作為激勵信號輸出至所述輸出端，并且將斬波器的調制頻率作為參考信號輸出至所述鎖相放大器。
3.根據權利要求1中所述的一種用于光電探測器沖激響應測量的裝置，其特征在于：所述同軸到共面轉換器采用同軸到共面探頭。
4.根據權利要求3中所述的一種用于光電探測器沖激響應測量的裝置，其特征在于：所述同軸到共面探頭與共面波導壓接。
5.根據權利要求1中所述的一種用于光電探測器沖激響應測量的裝置，其特征在于：該裝置還包括光功率計，所述光功率計分別測量所述多路飛秒脈沖激光產生器的第一路光和第二路光的功率。
6.根據權利要求1至5中任一項權利要求中所述的一種用于光電探測器沖激響應測量的裝置，其特征在于：該裝置還包括控制和計算單元，
所述控制和計算單元分別控制電位移平臺的步進量和鎖相放大器的逐點采樣，并基于等效取樣原理對所述采樣信號進行處理得到所述超快脈沖信號的時域波形。
7.根據權利要求1中所述的一種用于光電探測器沖激響應測量的裝置，其特征在于：所述光導探針的光敏縫隙與共面波導表面之間的距離為5μm～10μm。
8.一種用于光電探測器沖激響應測量的方法，其特征在于：該方法包括
多路飛秒脈沖激光產生器輸出第一路光和第二路光；
所述第一路光通過斬波器調制后輸出調制光，以調制光作為激勵信號得到超快電脈沖信號；
將該超快電脈沖同軸到共面轉換至共面波導；
所述第二路光通過電位移平臺位移后射入光導探針的光敏縫隙中使得所述第二路光激勵所述光導探針在所述共面波導的作用下產生光敏電流；
與電位移平臺的逐步位移相對應地采樣所述光敏電流得到采樣信號。
9.根據權利要求8所述的一種用于光電探測器沖激響應測量的方法，其特征在于：將所述第一路光和第二路的光功率分別控制在小于1mW。
10.根據權利要求8所述的一種用于光電探測器沖激響應測量的方法，其特征在于：所述方法中電位移平臺設定的步進量不大于10μm。
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