[發(fā)明專利]一種低功耗高靈敏度的碳納米管紅外傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310506884.3 | 申請日： | 2013-10-24 |
| 公開（公告）號： | CN103557944A | 公開（公告）日： | 2014-02-05 |
| 發(fā)明（設計）人： | 袁珩;房建成 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京航空航天大學 |
| 主分類號： | G01J5/22 | 分類號： | G01J5/22 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251 | 代理人： | 孟卜娟 |
| 地址： | 100191*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 功耗 靈敏度 納米 紅外傳感器 | ||
1.一種低功耗高靈敏度的碳納米管紅外傳感器，其特征在于：由電阻反應層（1）、微懸梁上層（2）、微懸梁下層（3）、基底連接層（4）、基底層（5）組成，電阻反應層（1）搭接在兩個微懸梁下層（3）之間的狹縫處，微懸梁上層（2）附在微懸梁下層（3）的上面，微懸梁下層（3）大部分面積為懸空，兩端附在基底連接層（4）上面，基底連接層（4）在基底層（5）上面，與微懸梁上層（2）相比，微懸梁下層（3）兩端略長，中間部分與微懸梁上層（2）重合，并通過基底連接層（4）形成微懸梁結(jié)構(gòu)，微懸梁下層（3）的根部沒有被微懸梁上層（2）所覆蓋的部分作為電極，用于整個結(jié)構(gòu)的電阻測量，同時，微懸梁下層（3）的頂端沒有被微懸梁上層（2）所覆蓋的部分作為電阻反應層（1）的連接部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低功耗高靈敏度的碳納米管紅外傳感器，其特征在于：所述的電阻反應層（1）是由大量的碳納米管排列、匯聚形成，在范德華力的作用下，通過碳納米管特有的柔性與導電特性，形成一種特有的柔軟電阻薄膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低功耗高靈敏度的碳納米管紅外傳感器，其特征在于：所述的微懸梁上層（2）由氮化硅材料制成，并且其厚度需要優(yōu)化，當紅外光照射時不僅要保證一定的能量吸收，還需要保證一定的光透過率。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低功耗高靈敏度的碳納米管紅外傳感器，其特征在于：所述的微懸梁下層（3）由鋁材料制成，并且其厚度需要優(yōu)化，需要保證在紅外光照射時不僅要保證一定的能量吸收，還需要保證一定的安全形變。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低功耗高靈敏度的碳納米管紅外傳感器，其特征在于：所述的基底連接層（4）由氧化硅材料制成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低功耗高靈敏度的碳納米管紅外傳感器，其特征在于：所述的基底層（5）由硅材料制成。
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